本发明专利技术提供一种刀片装卸装置，其包括用于装卸法兰的法兰把持部(1)、以及用于装卸螺母的螺母旋转支承部(2)。法兰把持部(1)以能够拆卸及安装的方式安装于螺母旋转支承部(2)。以螺母旋转支承部(2)和法兰把持部(1)一体化的状态在主轴(B)的刀片安装部位同时装卸被法兰把持部1的各卡合爪(11b)保持的法兰(D)、以及保持在螺母旋转支承部(2)的凹部(21d)内的螺母(E)。此外，以使螺母旋转支承部(2)和法兰把持部(1)分离的状态分别在主轴(B)的刀片安装部位装卸法兰(D)和螺母(E)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种刀片装卸装置，特别涉及一种用于相对于用来切断半导体晶圆等的切削加工装置安装、拆卸作为旋转切削刀的刀片的刀片装卸装置。
技术介绍
在用于切断半导体晶圆等被加工物的规定位置而将半导体晶圆分割成最小单位的切削加工装置中安装有刀片(旋转切削刀)。刀片利用刀片装卸用的螺母及法兰安装在切削加工装置的主轴(spindle)的顶端安装部位。若刀片消耗、或破损，则需要更换刀片。 此外，在改变被加工物的种类、或改变被加工部的加工内容的情况下，也需要适宜地更换刀片。作为将刀片安装到主轴的顶端安装部位的方法，已知有例如使刀片夹持在二个法兰之间并在该状态下利用螺母将法兰安装到主轴顶端安装部位的方法。此外，在专利文献(日本特开2005-191096号公报)中，提出有用于相对于主轴的顶端安装部位同时装卸螺母及法兰的刀片装卸装置。在该刀片装卸装置中，在把持被安装在主轴的顶端安装部位处的法兰的状态下使螺母旋转，从而同时装卸法兰和螺母。采用上述刀片装卸装置，至少能够一边把持位于螺母侧的法兰一边使螺母旋转。 由此，在自主轴的顶端安装部位拆卸螺母之后，能够成为螺母和该螺母侧的法兰被保持的状态，而防止螺母和法兰脱落。此外，在该刀片装卸装置中，由于能够在拆卸螺母的同时也拆卸法兰，因此能够利用与该拆卸过程相反的过程将所保持的螺母及法兰安装到主轴的顶端安装部位。这样，在上述刀片装卸装置中，通过同时保持螺母及法兰，能够防止螺母等脱落， 此外，能够同时相对于主轴的顶端安装部位装卸螺母及法兰。
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，在上述刀片装卸装置中，在相对于主轴的顶端安装部位仅装卸螺母、或仅装卸法兰的情况下，反而存在缺乏操作性、作业效率变差这样的问题。例如，在一边确认法兰相对于主轴的顶端安装部位的安装状态、一边安装该法兰时，有时存在当没有使螺母保持于刀片装卸装置时能够高效并且顺畅地进行操作的情况。 此外，当一边进行法兰的安装操作、一边同时进行螺母的安装操作时，需要更慎重地进行两者的安装操作，因此该作业要求熟练性。本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种在相对于主轴的顶端安装部位装卸螺母及法兰时操作性优异的刀片装卸装置。用于解决问题的方案本专利技术为一种刀片装卸装置，其用于相对于切削加工装置安装、拆卸切削用的刀片，该切削加工装置用于切削加工被加工物，上述刀片装卸装置包括法兰把持部，其用于进行法兰的装卸，该法兰用于将刀片安装到切削加工装置的刀片安装部位；以及螺母旋转支承部，其用于进行螺母的装卸，该螺母用于将刀片安装到刀片安装部位。法兰把持部包括套筒状的法兰把持部主体；法兰把持部件，其设置于法兰把持部主体的周向；以及操作构件，其设置于法兰把持部主体的外周面，并用于操作法兰把持部件。法兰把持部件包括第1卡合爪，其能够以枢轴支承该法兰把持部件的一端侧的第1枢轴支承点为中心，向远离法兰把持部主体的第1轴心的第1方向、以及靠近第1轴心的第2方向转动；以及第1弹性构件，其用于对第1卡合爪向第1方向施力。法兰把持部件具有如下功能使操作构件向法兰把持部主体的轴向滑动并使第1 卡合爪克服第1弹性构件的弹性力而向第2方向转动，从而使第1卡合爪与形成于刀片安装部位的第1周槽卡合，相反，利用第1弹性构件的弹性力使第1卡合爪向第1方向转动， 从而使第1卡合爪自第1周槽离开。螺母旋转支承部包括螺母旋转支承部主体；法兰把持部装卸构件，其设置于螺母旋转支承部，并用于相对于螺母旋转支承部安装、拆卸法兰把持部；以及螺母旋转构件， 其设置于螺母旋转支承部主体。法兰把持部装卸构件包括第2卡合爪，其能够以枢轴支承该法兰把持部装卸构件的一端侧的第2枢轴支承点为中心，向远离螺母旋转支承部主体的第2轴心的第3方向、 以及靠近第2轴心的第4方向转动；以及第2弹性构件，其用于对第2卡合爪向第3方向施力。法兰把持部装卸构件具有如下功能利用第2弹性构件的弹性力使第2卡合爪向第3方向转动，使第2卡合爪与形成于法兰把持部主体的内周面的第2周槽卡合，从而将法兰把持部安装于螺母旋转支承部，相反，使第2卡合爪克服第2弹性构件的弹性力而向第4 方向转动，使第2卡合爪自第2周槽离开，从而自螺母旋转支承部拆卸法兰把持部。根据本专利技术的刀片装卸装置，通过在法兰把持部与螺母旋转支承部为一体化的状态下使用，能够同时保持螺母和法兰，能够防止螺母和法兰脱落，并且能够相对于主轴的顶端安装部位同时装卸螺母和法兰。此外，通过分离法兰把持部和螺母旋转支承部而分别进行使用，能够相对于主轴的顶端安装部位分别装卸螺母和法兰。由此，能够适应于相对于主轴的顶端安装部位进行的螺母和法兰的多种装卸作业 (操作)。优选的是，作为其法兰把持部件，在法兰把持部主体的周向上以等间隔配置有三个法兰把持部件。此外，优选在螺母旋转支承部及操作构件的外周面设置有防滑部件。该情况下，能够高效并且可靠地进行利用法兰把持部把持刀片的作业、及利用螺母旋转支承部使螺母旋转的作业，从而能够提高作业的安全性。而且，优选在法兰把持部上设置有用于限制操作构件的滑动的止挡件。而且，优选该止挡件与第1卡合爪形成为一体。附图说明图1是概略地表示本专利技术的实施例1的刀片装卸装置的整体的立体图。图2是表示在同一实施例中图1所示的刀片装卸装置和切削加工装置的主轴之间的位置关系的图，图2的(a)是刀片装卸装置的与图1所示的剖面线IIa-IIa相对应的第 1状态的纵剖视图、以及表示主轴的侧视图，图2的(b)是刀片装卸装置的与图1所示的剖面线IIa-IIa相对应的第2状态的纵剖视图、以及表示主轴的侧视图。图3是用于说明在同一实施例中刀片装卸装置的操作的图，图3的(a)是表示使法兰把持部自螺母旋转支承部分离的状态的纵剖视图，图3的(b)是法兰把持部的纵剖视图。图4是用于说明在同一实施例中刀片装卸装置的操作的图，图4的(a)是螺母旋转支承部的第1纵剖视图，图4的(b)是螺母旋转支承部的第2纵剖视图。图5是用于说明在同一实施例中刀片装卸装置的操作的图，图5的(a)是表示在使刀片装卸装置与主轴的顶端安装部位嵌合之前的状态的纵剖视图，图5的(b)是表示使刀片装卸装置与主轴的顶端安装部位嵌合后的状态的纵剖视图。图6是用于说明在同一实施例中刀片装卸装置的操作的图，也是表示法兰把持部和螺母旋转支承部之间的卡合方式的纵剖视图。图7是用于说明在同一实施例中刀片装卸装置的操作的图，也是表示自主轴的顶端安装部位拆卸法兰和螺母而保持它们的状态的纵剖视图。图8是概略地表示本专利技术的实施例2的刀片装卸装置的整体的立体图。图9是概略地表示本专利技术的实施例3的刀片装卸装置的法兰把持部和螺母旋转支承部的主要部分的纵剖视图。具体实施例方式以下，参照图1 图5说明本专利技术的实施例1的刀片装卸装置。(实施例1)图1表示实施例1的刀片装卸装置。该刀片装卸装置使用于装卸切削加工装置的刀片(旋转切削刀)的情况，该切削加工装置用于切断半导体晶圆等被加工物的规定位置而将半导体晶圆分割成最小单位 (芯片)。更具体地说，刀片装卸装置使用于装卸切削加工装置的刀片、夹持该刀片的法兰及固定刀片等的螺母的情况。刀片装卸装置包括用于装卸法兰的法兰把持部1、以及用于装卸螺母的螺母旋转支承部2。法兰把持部1以能够相对于螺母旋转支承部2拆卸、安装的方式安装于螺本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：山地周三，
申请(专利权)人：东和株式会社，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。