【技术实现步骤摘要】
基于圆偏振光干涉的双纵模偏频锁定方法与装置
本专利技术属于激光应用
，主要涉及一种基于圆偏振光干涉的双纵模偏频锁定方法与装置。
技术介绍
由于精密加工技术的发展，对测量系统提出了更高的要求，要求测量系统不仅要有很高测量精度，而且要满足测量高速运动机械的要求。激光干涉技术以其高灵敏度，高精度及非接触等特点在精密和超精密加工、微电子装备、纳米技术等尖端工业装备和国防装备领域占据着越来越重要的应用地位，并得到广泛应用。但由于各种不稳定因素的影响，自由运转的激光器光频率漂移远远大于线宽极限，其相对频率准确度仅为10_5 10_6。随着科学技术的不断发展，超精密测量与加工工业对激光器的频率精度提出越来越高的要求，当前超精密加工一般要求激光的频率相对准确度达到10_7 10_8，有的特殊场合，如光刻机和大型天文望远镜加工等，甚至要求激光的频率相对准确度达到10_9，为了满足这样的精度要求，需要对自由运转的激光器采取稳频控制措施，以提高其相对频率准确度。偏频锁定技术是实现两支以上的激光器输出频率相对稳定的最简单和最经济的方法。美国Lawrence Livemore实验室的...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，刁晓飞，胡鹏程，杨千惠，白洋，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。