一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法技术方案

本发明专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法。本发明专利技术一种在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法通过在制造执行系统中集成一种针对大批量产品批的自动寻找并设置最佳安全站点的模块，从而解决了现有制造执行系统中在处置大规模事件（比如年度维修）时需要花大量的人力来对每个硅片批进行人工干预处置、不便利、易出错及不能出具详细的执行状态报告等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及。
技术介绍
制造执行系统(ManufacturingExecution System，简称 MES)是由美国 AMR 公司 (Advanced Manufacturing Research, Inc.)在90年代初提出的，旨在加强MRP计划的执行功能，把MRP计划同车间作业现场控制，通过执行系统联系起来；其中，现场控制包括PLC 程控器、数据采集器、条型码、各种计量及检测仪器、机械手等。制造执行系统(MES)系统中还设置了必要的接口，与提供生产现场控制设施的厂商建立合作关系。但是，现有的制造执行系统(MES)缺乏智能寻找安全站点的功能，这对于工厂在处置大规模事件(比如年度维修)时需要花大量的人力来对每个硅片批(lot)进行人工干预处置，很不便利，很容易出错，也不利于出具详细的执行状态报告。
技术实现思路
本专利技术公开了，其中，包括以下步骤步骤Sl 在一设置有预停止模块的制造执行系统中，根据工艺需求设置每个站点的安全等级；步骤S2 于制造执行系统的操作模块上设置筛选项，以控制产品批的预停止； 步骤S3 制造执行系统根据所定义的产品批通过筛选项为每个产品批设置对应的预停止站点；步骤S4:当需要进行预停止时，工艺人员通过操作模块的填写项设置预停止信息，制造执行系统根据操作模块的设置执行进行预停止。其中，制造执行系统还设置有步骤计算模块。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中安全等级设置可根据工艺类别设置为至少两个级别。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中筛选项包含有产品名、批次代号、等级、工程或产品片、安全等级数。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中筛选项还包含有填写项，以实现安全站点的停止。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，包括利用报表对预停止的信息进行追踪与管理。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中报表是对已经执行的产品、产品批信息进行汇总，该信息包括产品、批次、优先等级、现有站点、预停止站点、尚余步数、停止站点的安全等级。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中步骤S4中预停止信息包含有预停止的安全等级、安全站点搜索步骤。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中预停止工艺包括一般预停止、分级预停止。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中一般预停止为通过统一填写项输入的筛选条件，根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止；分级预停止为进行分批操作，每次均通过填写项输入的筛选条件仅为安全等级选项，然后根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止。上述的在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法，其中预停止工艺还包括高级预停止，即在一般预停止的基础上，增加最近安全站点搜索步骤限制模块，并通过统一填写项输入的筛选条件，根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止。综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术提出，通过在制造执行系统中集成一种针对大批量产品批(lot)的自动寻找并设置最佳安全站点的模块，从而解决了现有制造执行系统中在处置大规模事件(比如年度维修)时需要花大量的人力来对每个硅片批(lot)进行人工干预处置、不便利、易出错及不能出具详细的执行状态报告等问题。附图说明图1是本专利技术在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法的流程示意图。 具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步的说明图1是本专利技术在制造执行系统中实现安全站点预停止的方法的流程示意图。如图1所示，本专利技术，包括以下步骤首先，在一设置有预停止模块的制造执行系统中，根据工艺需求设置每个站点的安全等级；其中，安全等级可设为多个级别。比如将安全等级设置为三级或九级，其中，三级安全等级为设置0-2三个等级，0表示不安全，1表示比较安全，2表示安全；九级安全等级为设置0-8九个等级，从0-8依次代表从不安全到最安全的级别，如0表示不安全，8表示最安全。其次，于制造执行系统的操作模块上设置筛选项，以控制产品批的预停止；其中， 筛选项的包含有产品名(product ID)、批次代号(lot ID)、等级(Lot priority)、工程或产品片(lot type)和安全等级数值等信息，且设置填写项以方便工艺人员输入需要停止的安全等级、最近安全站点搜索步骤限制等预停止信息，以执行安全站点的停止工艺。然后，制造执行系统根据所定义的产品批并通过筛选项为每个产品批设置对应的预停止站点。最后，当需要进行预停止工艺时，如进行年度维修等，工艺人员通过操作模块的填4写项设置包含有预停止的安全等级、安全站点搜索步骤等预停止信息，制造执行系统根据操作模块的设置执行预停止，同时工艺人员通过报表系统追踪查看。其中，报表是可根据筛选项目查看产品批次的预停止信息，包括所有已执行或未执行产品、产品批信息，该信息包括产品、批次、优先等级、现有站点、是否设置预停止，预停止站点、尚余步数、停止站点的安全等级等信息。进一步的，制造执行系统还设置有步骤计算模块。其中，预停止工艺包括一般预停止、分级预停止和高级预停止；一般预停止为通过统一填写项输入的筛选条件，如安全站点等级等，根据所定义的产品批并通过筛选项， 制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止(future hold);由于不同产品、批次需要执行不同的安全等级，就需要执行分级预停止，即进行分批操作，每次均通过填写项输入的筛选条件仅为安全等级选项，然后根据所定义的产品批并通过筛选项，制造执行系统为每个产品批寻找一个最近的符合需求的安全站点，并设置预停止；由于上述一般预停止和分级预停止只能在最近的安全站点执行预停止，对于跑货等级较高的产品、批次不适用，就需要执行高级预停止，即在一般预停止的基础上，增加最近安全站点搜索步骤限制模块(默认为0)，如设置最近安全站点搜索步骤数值为30，则表示从本站点开始至以后的30个站点之后开始搜索一个满足工艺需求的安全站点并进行预停止操作；若设置最近安全站点搜索步骤数值为30-50，则表示搜索从本站点开始30站以后至50站以内的一个满足工艺需求的安全站点并进行预停止操作，如果没发现满足条件的安全站点就报错。其中，还可以对安全站点和产品批的选择设置一定的过滤条件，如安全等级等。综上所述，由于采用了上述技术方案，本专利技术提出，通过在制造执行系统中集成一种针对大批量产品批(lot)的自动寻找并设置最佳安全站点的模块，从而解决了现有制造执行系统中在处置大规模事件(比如年度维修)时需要花大量的人力来对每个硅片批(lot)进行人工干预处置、不便利、易出错及不能出具详细的执行状态报告等问题。通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本专利技术精神，还可作其他的转换。尽管上述专利技术提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。 因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：魏峥颖，张海芳，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：