反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室制造技术

本实用新型专利技术为一种反应腔室盖板，包括：反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板、连杆机构、电机依次连接，连杆机构能够在电机的驱动下带动传片门板运动，以将反应腔室隔板上的方孔打开或关闭。本实用新型专利技术采用连杆机构传动传片门，结构简单易行，较容易控制开启的高度，并且使用电机驱动连杆机构来控制传片门的开关，较为容易控制，与采用气缸传动相比，可节省气缸气源。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室。
技术介绍
在进行半导体工艺时，机械手向反应腔室中传送晶片或从反应腔室中取出晶片都需要通过能够自动开启或关闭的门的结构。在过去的半导体设备中，以往的自动开启或关闭的门的结构由气缸来驱动。由于传片门板上下的移动主要通过门板两边固定着的导轨， 因此，在安装时，两边导轨的平行度要求很高。而在采用气缸传动时，就需要对气缸活塞杆与导轨的平行度要求很高，这样就加大了安装时的难度。如果导轨与气缸活塞杆的平行度误差比较大，传片门在开启过关闭的过程中会卡死，不仅会损害机械手，还会造成反应腔室中的晶片受到污染，严重影响工艺效果。而在采用气缸时，也需要给气缸提供具有一定纯净度的压缩空气，这样就增加了设备介质使用的复杂度。如果使用的压缩空气纯净度不高，不仅会减少气缸的使用寿命，也会给设备内部微环境带来危害，使清洗过的晶片再次被污染。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术的目的是提供一种简单易行、可靠的机械手传片门自动开启与关闭的反应腔室盖板及具有该盖板的反应腔室。( 二 )技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供一种反应腔室盖板，包括反应腔室隔板、传片门板、连杆机构以及电机；所述反应腔室隔板设于反应腔室上部，并开有对应于反应腔室入口的方孔；所述传片门板可在所述反应腔室隔板上运动；所述连杆机构包括至少一根连杆；所述传片门板、连杆机构、电机依次连接，连杆机构能够在电机的驱动下带动传片门板运动，以将反应腔室隔板上的方孔打开或关闭。优选地，所述反应腔室隔板的方孔两侧设有门板导轨，传片门板两侧设有导轨滑块，传片门板通过导轨滑块在所述门板导轨上运动。优选地，所述门板导轨的长度根据传片门板运动的距离而定。优选地，所述传片门板的大小根据反应腔室隔板的方孔的尺寸而定。优选地，该反应腔室为半导体反应腔室，通过机械手传取晶片，所述方孔的尺寸根据机械手的尺寸与晶片的尺寸而定。优选地，所述连杆机构为双连杆机构，包括第一连杆和第二连杆，传片门板与第一连杆连接，第一连杆与第二连杆通过转轴连接，并且两根连杆可绕转轴相对转动；第二连杆与电机连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆一起转动，从而带动传片门板在反应腔室隔板上移动。优选地，所述连杆机构为四连杆机构，包括两根第一连杆、第二连杆和第三连杆，传片门板与两根相同的第一连杆连接，这两根第一连杆与第三连杆的两端通过转轴连接， 并且两根第一连杆可绕转轴与第三连杆相对转动；第二连杆与第三连杆通过第三连杆中间的转轴连接，通过转轴，第二连杆和第三连杆可相对转动；第二连杆与电机连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆一起转动，第二连杆、第三连杆和两根第一连杆组成连杆机构，从而带动传片门板在反应腔室隔板上移动。本技术还提供一种上述反应腔室盖板的反应腔室，还包括腔体，所述反应腔室盖板用于将腔室所处环境与外界环境隔离开来。优选地，该反应腔室为半导体反应腔室。(三)有益效果1、采用连杆机构传动传片门，结构简单易行，较容易控制开启的高度。2、使用电机驱动连杆机构来控制传片门的开关，较为容易控制，与采用气缸传动相比，可节省气缸气源。附图说明图1为本技术中反应腔室隔板的结构图；图2为本技术采用两根连杆机构时的结构图；图3为本技术采用两根连杆机构时传片门全部开启时的结构图；图4为本技术采用两根连杆机构时传片门全部关闭时的结构图；图5为本技术采用四根连杆机构时的结构图；图6为本技术采用四根连杆机构时传片门全部开启时的结构图；图7为本技术采用四根连杆机构时传片门全部关闭时的结构图。其中，1 反应腔室隔板；2 方孔；3 门板导轨；4 传片门板；5 导轨滑块；6 第一连杆；7 第二连杆；8 第三连杆；9 电机。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不是限制本技术的范围。如图2所示，为本技术所述反应腔室盖板一实施例的结构图，包括反应腔室隔板1、传片门板4、连杆机构以及电机9 ；所述反应腔室隔板1设于反应腔室侧面，并开有对应于反应腔室入口的方孔2 (如图1所示)；门板导轨3固定在反应腔室隔板1上，导轨滑块5与门板导轨3连接在一起，且导轨滑块5可沿门板导轨3移动。传片门板4与导轨滑块5固定在一起。传片门板4依靠导轨滑块5在门板导轨3上移动；所述连杆机构为双连杆机构，包括第一连杆6和第二连杆7，传片门板4与第一连杆6连接，第一连杆6与第二连杆7通过转轴连接，并且两根连杆可绕转轴相对转动；第二连杆7与电机9连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆7 —起转动，从而带动传片门板4在反应腔室隔板1上移动。所述传片门板4、连杆机构、电机9依次连接，连杆机构能够在电机9的驱动下带动传片门板4 运动，以将反应腔室隔板上的方孔2打开或关闭。所述门板导轨3的长度可根据传片门板4运动的距离而定。所述传片门板4的大小根据反应腔室隔板的方孔2的尺寸而定。所述方孔2的尺寸根据机械手的尺寸与晶片的尺寸而定。当机械手需要传取晶片时，设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构 (第一连杆6和第二连杆7)转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨3移动至反应腔室隔板方孔2完全打开的位置停止，等待机械手完成传取晶片动作(如图3所示位置)。当机械手完成传取晶片动作时，需及时将反应腔室隔板方孔2关闭。设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构(第一连杆6和第二连杆7)转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨3移动至反应腔室隔板方孔2完全关闭的位置停止，等待下一次机械手传取晶片动作开始(如图4所示位置)。在传片门板4上下移动的过程中，传片门板的主要受力来自于与第一连杆6连接处。为了避免在连杆的极限位置卡死，在具体尺寸设计时，应避免第一连杆6在竖直方向。如图5所示，为本技术所述反应腔室盖板另一实施例的结构图，与前述实施例的区别在于，所述连杆机构为四连杆机构，包括两根第一连杆6、第二连杆7和第三连杆 8，传片门板4与两根相同的第一连杆6连接，这两根第一连杆6与第三连杆8的两端通过转轴连接，并且两根第一连杆6可绕转轴与第三连杆8相对转动；第二连杆7与第三连杆8 通过第三连杆8中间的转轴连接，通过转轴，第二连杆7和第三连杆8可相对转动；第二连杆7与电机9连接，当电机轴转动时，可带动第二连杆7 —起转动，第二连杆7、第三连杆8 和两根第一连杆6组成连杆机构，从而带动传片门板4在反应腔室隔板1上移动。当机械手需要传取晶片时，设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构 (第二连杆7、第三连杆8、两根第一连杆6)转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨 3移动至反应腔室隔板方孔2完全打开的位置停止，等待机械手完成传取晶片动作(如图6 所示位置)。当机械手完成传取晶片动作时，需及时将反应腔室隔板方孔2关闭。设备控制系统控制电机9转动，电机9带动连杆机构转动，第一连杆6带动传片门板4沿着门板导轨 3移动至反应腔室隔板方孔2完全关闭的位置停止，等待下一次机械手传取晶片动作开始 (如图7所示位置)。在传片门板4上下移动的过程中，第一连杆6始终保持水平，这样就保证了第一连杆6和传片门板4连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：昝威，吴仪，张晓红，裴立坤，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：