【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超精密气体静压主轴系统领域,具体涉及一种分离式柔性驱动的高精度加工机床主轴系统。
技术介绍
随着科学技术的发展,发展国防工业、微电子工业等尖端技术需要精密和超精密加工装备与工艺技术,尤其是超精密加工机床,更是超精密加工
的核心与关键。超精密加工机床的主轴系统是超精密加工机床的关键部件,其精度直接影响零件的加工精度。因此,如何能设计制造出超精密的主轴已成为超精密加工机床的核心与关键。超精密加工机床主轴的设计主要考虑三个方面的问题一个是主轴回转精度和刚度的问题,另一个是驱动结构和方式的问题,而驱动结构和方式同时又影响着主轴的回转精度和刚度。在超精密加工机床中,超精密主轴的回转精度和刚度是一个非常重要的技术指标。目前,我国的超精密机床广泛地使用气体静压主轴方式,由于气体静压支撑的均化效应等优点,可以达到较高的回转精度,但电机和主轴动力的传递多采用刚性连接方式,刚性连接对主轴精度的影响问题一直未得到很好的解决,主轴的驱动动力波动也会给回转精度带来影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决现有超精密加工装备中的问题,提供了一种分离式柔性驱动的高精度加工 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杜冲,
申请(专利权)人:大连创达技术交易市场有限公司,
类型:发明
国别省市:
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