光学气体测量的测量方法和测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用一VCSEL(12)和一与之连接的中空波导(11)进行光学气体测量的方法。所述中空波导包含待测气体，由所述中空波导导引光。在此过程中使所述中空波导(11)发生振动。在一时间段内进行所述气体测量并对所获得的测量值进行积分。这样能明显减轻干涉对测量所造成的干扰性影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光学气体传感器及其操作方法，其中，一光源所发射的光由一中空光波导导引。
技术介绍
这类光学气体传感器典型地例如用激光二极管将光射入待测体积。在传感器采用上述设计方案的情况下，这个待测体积可以实施为中空光波导。该中空光波导沿其延伸度 (视情况也可以有所弯曲)导引光并在其末端将光释放或反射到检测器上。光学气体传感器的缺点是，测量低气体浓度时总是会出现由气体的吸收行为而引起的绝对信号电平较低的情况。此外，分析信号时必须将准确的波长位置和其他参数考虑在内也具有难度，因此限制了测量的精度。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种能明显提高光学测量分辨率(即测量精度)的方案。本专利技术的上述目的通过一种具有权利要求1所述特征的气体测量装置而得以实现。本专利技术的上述目的还通过一种具有权利要求3所述特征的测量方法而得以实现。本专利技术提供一种光学气体传感器。所述气体传感器具有一光源，例如一 VCSEL (垂直腔面发射激光器)或一激光二极管。所述光源所发射的光由一中空光波导(即中空光纤)导引。换言之，布置所述光波导以接收所述光源所发射的光。所述中空光纤可直接与所述光源相接，也可以与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.09.04 DE 102009040122.91.一种用于气体检测的装置，具有一特定而言在红外线或可见光波长范围内发射光的光源，一用于导引所述光且实施为中空光纤的光波导，其中，所述中空光纤设计为允许气体进入空腔，一检测器，用于接收已穿过所述中空光纤的光以及根据所述光被部分地吸收的情况进行气体检测，一用于使所述中空光纤发生振动的装置。2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述中空光纤与所述光源以所述光源所发射的光直接进...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈嘉，安德烈亚斯·汉高尔，赖纳·斯特佐达，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
国别省市：