航天测控用光学晶片制造技术

本实用新型专利技术提供一种航天测控用光学晶片，该航天测控用光学晶片是直径为62mm的圆形石英晶体抛光片，所述圆形石英晶体抛光片的上下表面是彼此平行的纳米级抛光平面。该航天测控用光学晶片采用直径为62mm的圆形晶片和纳米级抛光表面，使得产品满足了航天测控技术的需要，其具有结构简单、设计科学、生产工艺简单、可靠性高、利于实现产业化的优点。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种光学晶片，具体的说，涉及了一种航天测控用光学晶片。
技术介绍
航天测控用光学晶片是一种应用于航天、军事领域的光学石英晶体抛光片；该产品长期依赖进口，价格高昂，严重影响了我国的国防建设和航天技术的发展。为了解决以上存在的问题，人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足，从而提供了一种结构简单、设计科学、 生产工艺简单、可靠性高、利于实现产业化的航天测控用光学晶片。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是一种航天测控用光学晶片， 该航天测控用光学晶片是直径为62mm的圆形石英晶体抛光片，所述圆形石英晶体抛光片的上下表面是彼此平行的纳米级抛光平面。本技术相对现有技术具有实质性特点和进步，具体的说，该航天测控用光学晶片采用直径为62mm的圆形晶片和纳米级抛光表面，使得产品满足了航天测控技术的需要，其具有结构简单、设计科学、生产工艺简单、可靠性高、利于实现产业化的优点。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面通过具体实施方式，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。如图1所示，一种航天测控用光学晶片，该航天测控用光学晶片是直径为62mm的圆形石英晶体抛光片1，所述圆形石英晶体抛光片1的上下表面是彼此平行的纳米级抛光平面2。该航天测控用光学晶片的生产工艺包括晶片精磨、一次粗抛光、二次粗抛光、精抛光、纳米液抛光和多槽超声波清洗。精磨和抛光时，需要将晶片放入专用配套的行星轮内，在研磨砂液、抛光粉或抛光液的作用下，完成作业；一次粗抛光选择国产高精度9B双面抛光机与聚氨酯膜、粗抛粉、行星轮配合；二次粗抛光选择国产高精度9B双面抛光机与磨砂型阻尼膜垫、粗抛粉、行星轮配合；精抛光选择国产高精度9B双面抛光机与软质绒毛型阻尼膜垫、细抛粉、行星轮配合； 纳米液抛光选择国产高精度9B双面抛光机与软质绒毛型阻尼膜垫、纳米液、行星轮配合； 多槽超声波清洗选择13槽超声波清洗设备进行洗剂、漂洗、脱水、干燥。采用9B精磨设备双面研磨、9B双面抛光机双面抛光利于晶片厚度减薄、利于控制平行度和平面度；在行星轮载体的带动下，再按照砂粒由粗到细的原则逐渐减薄，工艺流程设计合理、质量稳定、抛光精度高、易于批量生产，且操作简单，操作员不需要特别的培训就可很快学会，生产效率高，产品质量稳定、可靠，完全可以替代进口产品。 最后应当说明的是以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解依然可以对本技术的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本技术技术方案的精神，其均应涵盖在本技术请求保护的技术方案范围当中。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1. 一种航天测控用光学晶片，其特征在于该航天测控用光学晶片是直径为62mm的...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉宏，朱中晓，
申请(专利权)人：北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司，
类型：实用新型
国别省市：