固结磨料线锯用水溶性加工液制造技术

本发明专利技术提供一种含有(A)二醇类及水、25℃时的粘度为3mPa·s以上且50mPa·s以下、硅加工性优异的固结磨料线锯用水溶性加工液。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种固结磨料线锯(fixed abrasive grain wire saw)用水溶性加工液。
技术介绍
近年来，为了降低半导体设备的生产成本，硅晶圆的大口径化取得了飞速的发展， 提升硅晶圆的切割加工技术变得尤为重要。该切割加工技术举例有使用切割损失小且加工效率高的锯丝工具(线锯)的切割方式，使用线锯的切割的方式有游离磨料方式和固结磨料方式。游离磨料方式被指出存在以下问题(1)由于其使用磨料分散在油剂中得到的浆液作为加工液，故对切割作业、周围环境的污染显著，(2)需要废弃切割时产生的含有大量切割碎屑的浆液，(3)游离磨料与切割碎屑的分离困难，(4)锯丝运行速度存在限制，加工效率的提升有限等。为了解决诸如此类的问题，现正在研讨通过电沉积、树脂结合剂等使磨料固定在钢琴丝等锯丝表面的固结磨料型线锯。例如专利文献1中公开了使用树脂结合剂固定有30 60 μ m以下的磨料的固结磨料线锯，通过使其以1000 2500m/分的线速度运行，可对脆性材料进行切割，从而可以进行高效率的切割。另一方面，使用固结磨料线锯对脆性材料进行切割加工时，基于润滑、冷却、切割碎屑的分散等目的，同时使用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸尾直树，沼田康德，高桥宏明，
申请(专利权)人：尤希路化学工业有限公司，
类型：发明
国别省市：