【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术关于一种曝光装置及装置制造方法，更详细而言，关于经由光学系统而通过能量光束曝光物体的曝光装置，及使用该曝光装置的装置制造方法。
技术介绍
先前制造半导体组件(集成电路等)、液晶显示组件等的电子装置(微型装置)的微影工艺，主要使用步进及反复方式的投影曝光装置(亦即步进机)，或是步进及扫描方式的投影曝光装置(亦即扫描步进机(亦称为扫描仪))等。此种投影曝光装置具有保持晶圆或玻璃板等基板(以下统称为晶圆)，并将该晶圆沿着指定的二维平面内驱动的载台装置。载台装置为了进行精确曝光，而要求精确控制载台的位置，此外，为了提高曝光动作的通量，而要求载台的高速且高加速度化。响应于此要求，近年来开发出使用电磁力驱动方式的平面马达，控制晶圆在二维平面内的位置的载台装置(例如参照专利文献1)。此外，例如在专利文献2的第五种实施形态中揭示有：在形成于平台上面的凹部内布置编码器头的曝光装置。记载于专利文献2的曝光装置，通过对布置于晶圆载台的二维光栅，从正下方入射测量光束，而精确测量晶圆载台的位置信息。但是对揭示于专利文献2的第五种实施形态的在平台内布置编码器头的曝光装置，适用揭示于专利文献1的晶圆载台具有动子并且平台具有定子的平面马达时，在驱动晶圆载台时，可能因作用于平台的反作用力造成编码器系统的测量精度降低。【先前技术文献】【专利文献】【专利文献1】美国专利第6,437,463号说...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.06.19 US 61/218,450;2010.06.18 US 12/818,6441.一种曝光装置，其经由被第一支撑构件所支撑的光学系统，通过
能量光束将物体曝光，所述装置包括：
移动体，其保持所述物体，并可沿着指定的二维平面移动；
引导面形成构件，其形成所述移动体沿着所述二维平面移动时的引导
面；
第一驱动系统，其驱动所述移动体；
第二支撑构件，其经由所述引导面形成构件，从所述引导面形成构件
离开而布置于与所述光学系统相反的一侧，并固定于所述第一支撑构件；
及
测量系统，其包括第一测量构件，所述第一测量构件用测量光束照射
与所述二维平面平行的测量面，并接收来自所述测量面的光，并且所述测
量系统依据该第一测量构件的输出获得所述移动体至少在所述二维平面
内的位置信息，所述测量面设于所述移动体与所述第二支撑构件中的一个
处，所述第一测量构件的至少一部分设于所述移动体与所述第二支撑构件
的另一个处。
2.根据权利要求第1项所述的曝光装置，其中所述第二支撑构件是
平行于所述二维平面布置的梁状构件。
3.根据权利要求第2项所述的曝光装置，其中所述梁状构件在其长
度方向的两端部以垂挂状态固定到所述第一支撑构件。
4.根据权利要求第1～3项中任一项所述的曝光装置，其中在所述测
量面上布置其周期方向在平行于所述二维平面的方向上的光栅，
所述第一测量构件包括编码器头，所述编码器头用所述测量光束照射
所述光栅，并接收来自所述光栅的衍射光。
5.根据权利要求第1～4项中任一项所述的曝光装置，其中所述引导
面形成构件是平台，所述平台布置在所述第二支撑构件的所述光学系统
侧，从而与所述移动体相对，并且，所述平台具有平行于在与所述移动体
相对的一侧的一个表面上形成的所述二维平面的所述引导面。
6.根据权利要求第5项所述的曝光装置，其中所述平台具有所述测
量光束能够通过的光透过部。
7.根据权利要求第5或6项所述的曝光装置，其中第一驱动系统包
括平面马达，所述平面马达具有设于所述移动体的动子与设于所述平台的
定子，通过在该定子与所述动子之间产生的驱动力而驱动所述移动体。
8.根据权利要求第7项所述的曝光装置，其中进一步具备基座构件，
所述基座构件支撑所述平台使得所述平台能够在平行于所述二维平面的
平面内移动。
9.根据权利要求第8项所述的曝光装置，其中进一步具备平台驱动
系统，所述平台驱动系统包括设于所述基座构件的定子与设于所述平台的
动子，并且通过在该动子与所述定子之间产生的驱动力，而相对于所述基
座构件驱动所述平台。
10.根据权利要求第1～9项中任一项所述的曝光装置，其中所述测量
面设于所述移动体上，
所述第一测量构件的所述至少一部分布置于所述第二支撑构件上。
11.根据权利要求第10项所述的曝光装置，其中所述移动体具有第
一表面和第二表面，所述第一表面与所述光学系统相对且平行于所述二维
平面，在所述第一表面上放置所述物体，所述第二表面在与所述第一表面
相反的一侧且平行于所述二维平面，在所述第二表面上布置所述测量面。
12.根据权利要求第10或11项所述的曝光装...
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