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本发明使用布置于微动载台(WFS1，WFS2)下面的光栅，通过布置于平台(14A、14B)下方的测量杆(71)具有的多个编码器头、Z头等，在投影光学系统(PL)的正下方及主要对准系统(AL1)的正下方，分别测量曝光中及对准中的晶圆载台(WS...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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