一种可更换滤片的过滤排毒筒制造技术

技术编号：734248 阅读：189 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

本实用新型专利技术公开了一种可更换滤片的过滤排毒筒。它包括筒体（１），筒体内设有滤片（２），滤片（２）上设有一组均匀排列的通孔（３），筒体（１）外缠绕有冷却管（４），冷却管（４）一端伸入到筒体（１）内；筒体（１）的筒壁上设有梯台（５），滤片（２）支撑梯台（５）上，在筒体（１）上部设有筒口（６），筒口（６）上设有盖子（７），盖子（７）上设有输入管（８）。与现有技术相比，本实用新型专利技术当筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后，可以更换筒体内的滤片，不至于使整个排毒过滤筒报废，节约生产成本，也可以提高半导体硅片扩散合格率。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种可更换滤片的过滤排毒筒，属于半导体生产设备领域。
技术介绍
在半导体生产过程中，会产生偏磷酸和五氧化二磷有毒物质，这些有毒物质会直接影响半导体硅片扩散时的合格率，因此需要将这些有毒物质过滤掉。现有的排毒过滤筒滤片和筒体是一体的，使用一段时间后，筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后，由于不能更换筒体内的滤片，造成整个排毒过滤筒报废，生产成本高。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种可更换滤片的过滤排毒筒，当筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后，可以更换筒体内的滤片，不至于使整个排毒过滤筒报废，节约生产成本，同时也提高半导体硅片扩散合格率，以解决现有技术的不足。为解决上述技术问题，本技术的可更换滤片的过滤排毒筒，包括筒体，筒体内设有滤片，滤片上设有一组均匀排列的通孔，筒体外缠绕有冷却管，冷却管一端伸入到筒体内；其特点是筒体的筒壁上设有梯台，滤片放置在梯台上，在筒体上部设有筒口，筒口上设有盖子，盖子上设有输入管。上述的可更换滤片的过滤排毒筒中，所述的筒口和盖子的接触处为磨砂面。前述的可更换滤片的过滤排毒筒中，所述的输入管和冷却管接口处设有密封槽。前述的可更换滤片的过滤排毒筒中，所述的筒体、滤片、盖子、输入管和冷却管均采用石英玻璃制成。与现有技术相比，本技术由于将筒体制作成开口的，在筒体内设置活动的滤片，所以当筒体内滤片上堆积的有毒物质过多后，可以更换筒体内的滤片，不至于使整个排毒过滤筒报废，可节约生产成本，也可以提高半导体硅片扩散合格率。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是本技术中滤片的示意图。附图中的标记为l-筒体...

【技术保护点】
一种可更换滤片的过滤排毒筒，它包括筒体（１），筒体内设有滤片（２），滤片（２）上设有一组均匀排列的通孔（３），筒体（１）外缠绕有冷却管（４），冷却管（４）一端伸入到筒体（１）内；其特征在于：筒体（１）的筒壁上设有梯台（５），滤片（２）放置在梯台（５）上，在筒体（１）上部设有筒口（６），筒口（６）上设有盖子（７），盖子（７）上设有输入管（８）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张彩根，
申请(专利权)人：张彩根，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]

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