光源装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对3个以上波长的光波进行合波并出射的光源装置，通过在半导体衬底上形成光学系统元件和电气系统元件，而不需要光连接器等光学构件，节省了这些光学构件所需要的空间而缩小了配置间隔，另外缩小了电气电路的布线所需要的空间，提高了光学系统元件和电气系统元件的各元件的集成度。通过在同一半导体衬底上层状地形成光学系统元件和电气元件，与分别并列设置光学系统元件和电气元件的结构所需要的面积相比，能够减小面积。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如适合于小型投影仪的光源装置。
技术介绍
在将R波长区域、G波长区域以及B波长区域的光投影到银幕上而显示彩色图像的投影仪中，为了形成彩色图像，需要将各波长区域的光投射到一点。作为将各波长区域的光投射到一点的结构，已知以下的技术通过使用了 MEMS(微电子机械系统)的反射镜机构， 扫描各波长区域的光。该结构有以下这样的问题在通过反射镜对被整合到水平方向的各波长区域的光进行扫描时，投射各波长区域的光的定时的时间偏离；各波长区域的扫描角范围不同。作为解决该问题的现有技术，已知专利文献1。在专利文献1中，揭示了使用被称为XCUBE的将4体的直角棱镜组合起来而成的波束(beam)耦合器、解决了该X射线管所具有的问题的由3个光学部分构成的波束耦合器等的分光棱镜(dichroic prism)，对RGB的光波进行合波。另外，已知在通常使用的投影仪中，使用十字棱镜对RGB的光波进行合波。另外，关于使用棱镜对从半导体激光器出射的激光波束进行合波的技术，例如已知有专利文献2、3。另外，作为在光通信中使用方向性耦合器进行光合波分波的装置，例如提出了专利文献4、5。在专利文献4、5中，揭示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：井出昌史，泷泽亨，
申请(专利权)人：西铁城控股株式会社，
类型：发明
国别省市：