一种PECVD用载板的挂钩制造技术

本实用新型专利技术涉及太阳能电池的生产设备，具体涉及一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。相比现有挂钩安装过程和拆卸过程咬合对载板的磨损，本实用新型专利技术设计的挂钩在安装和拆卸过程对载板的磨损明显降低。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池的生产设备，具体涉及一种板式PECVD所使用载板的挂钩设计。
技术介绍
板式PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)工艺运行时，硅片通过载板上的挂钩定位后传送进入PECVD设备腔体完成镀膜工艺。所使用载板随着使用时间的增加，载板上沉积的氮化硅越来越多，会对硅片的镀膜均勻性产生明显的影响，容易造成镀膜色差。所以，载板在使用一段时间后需要使用一定浓度的HF酸溶液清洗去除沉积在载板上的氮化硅。在清洗之前，为避免金属离子与HF酸发生反应后对载板的污染，需要拆卸载板上的所有金属挂钩，待清洗完成后再重新安装新的挂钩。现有的挂钩设计如图1、图2所示。挂钩安装在载板上的方式通过钳子将钩体1上端部2的金属板材咬合固定实现。安装后如图3所示，在咬合过程采用垫片3来减轻对载板的损伤。拆卸挂钩时，用钳子将咬合的钩体1上端部2拧开。采用垫片的方式在挂钩的安装和拆卸过程中，只能减缓对载板横向(与挂钩截面平行的方向)的磨损，对载板纵向(与挂钩截面垂直的方向)的磨损无法有效避免。随着载板清洗次数的增加，挂钩更换次数随之增加，载板的磨损逐渐严重，挂钩对硅片的定位精度明显变差，导致载板的PECVD工艺运行时，硅片的碎片和掉片率明显的提升，载板的实际使用寿命快速的降低。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供一种可有效减少挂钩更换过程中对载板损耗的 PECVD用载板的挂钩。为实现上述目的，本技术所采用的技术方案为一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。作为上述方案的进一设置，所述顶片可在水平面上转动。所述顶片可在水平面上向外转动90°。所述顶片的形状为矩形、三角形、梯形中的任意一种。所述支臂的截面呈矩形。所述框架的两个支臂相对称设置。所述框架为不锈钢框架，弯钩为不锈钢弯钩、顶片为不锈钢顶片。本技术一种PECVD用载板的挂钩，在安装过程中，只需将挂钩两个支臂上的顶片向内旋转90°即可有效固定在载板上，无需钩体的咬合；拆卸时，只需将挂钩两个支臂上的顶片向外旋转90°即可快速方便将挂钩拆卸下来。因为安装过程中无需钩体咬合， 所以拆卸过程也非常简单。从而挂钩在安装和拆卸的过程中，对载板的磨损会明显的降低，有效的延长载板的使用寿命。以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一步说明。附图说明图1为现有挂钩的结构示意图；图2为图1的俯视图；图3为现有挂钩安装后的示意图；图4为本技术的结构示意图；图5为图4的俯视图；图6为本技术安装后的结构示意图；图7为图6的俯视图。具体实施方式如图4、图5所示，本技术一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架4，框架4两个支臂5的底端分别向外延伸形成弯钩6，两个支臂5的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片7，两个顶片7相对称设置，且顶片7的上端面71为平面。顶片7可在水平面上向外转动90°。顶片7的形状为矩形、三角形、梯形中的任意一种。支臂5的截面呈矩形。框架4的两个支臂5相对称设置。框架4为不锈钢框架，弯钩6为不锈钢弯钩、顶片7为不锈钢顶片。本技术一种PECVD用载板的挂钩，在实际安装过程中仅需要转动顶片7即可将挂钩很好的固定到载板上；因为安装时挂钩支臂5无需咬合，所以挂钩拆卸过程简单快速。相比现有挂钩安装过程和拆卸过程咬合对载板的磨损，本技术设计的挂钩在安装和拆卸过程对载板的磨损明显降低。结合图6、图7所示，本技术一种PECVD用载板的挂钩安装时，框架4内侧顶部设置有垫片8，顶片7的上端面71也设置有垫片8。本技术一种PECVD用载板的挂钩安装完成后，对硅片的定位无任何影响，可有效的满足硅片上下料过程中的定位精度要求。上述实施例仅用于解释说明本技术的专利技术构思，而非对本技术权利保护的限定，凡利用此构思对本技术进行非实质性的改动，均应落入本技术的保护范围。权利要求1.一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。2.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述顶片可在水平面上转动。3.如权利要求2所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述顶片可在水平面上向外转动90°。4.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述顶片的形状为矩形、三角形、梯形中的任意一种。5.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述支臂的截面呈矩形。6.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述框架的两个支臂相对称设置。7.如权利要求1所述的一种PECVD用载板的挂钩，其特征在于所述框架为不锈钢框架，弯钩为不锈钢弯钩、顶片为不锈钢顶片。专利摘要本技术涉及太阳能电池的生产设备，具体涉及一种PECVD用载板的挂钩，包括下部开口的方形框架，框架两个支臂的底端分别向外延伸形成弯钩，两个支臂的下端内侧分别设置有一个可转动的顶片，两个顶片相对称设置，且顶片的上端面为平面。相比现有挂钩安装过程和拆卸过程咬合对载板的磨损，本技术设计的挂钩在安装和拆卸过程对载板的磨损明显降低。文档编号H01L21/205GK202217651SQ201120335760公开日2012年5月9日 申请日期2011年9月8日 优先权日2011年9月8日专利技术者金若鹏 申请人:浙江向日葵光能科技股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金若鹏，
申请(专利权)人：浙江向日葵光能科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：