【技术实现步骤摘要】
一种在线监控PE镀膜均匀性的装置
本技术公开一种在线监控PE镀膜均勻性的装置,属于太阳电池制造领域。技术背景在晶体硅太阳电池的制备过程中,氮化硅膜对太阳能电池起钝化、减反射、保护发射区的作用,可提高太阳电池的光生电流,同时降低暗电流与提高开压,因此氮化硅薄膜制备工序在太阳电池工艺中起着较为重要的作用。氮化硅膜均勻性的好坏直接影响着太阳能电池片的外观及性能,在丝网印刷前要将镀膜不均勻的片子挑出,此挑出的不合格镀膜片可以返工处理,用一定浓度的氢氟酸浸泡就能去除其氮化硅膜,可再次镀膜以达到均勻的氮化硅膜;如果不合格片不挑出,经过丝网印刷工序,则其产生的电池片都为色差片及电性能低下片,此电池片经多道印刷及高温烧结,不能再返工处理。如果在丝网印刷前不将 PE(等离子增强型化学气相沉积)镀膜的不合格片子挑出,会极大影响电池片表面质量及电性能,会造成大量的色差片及低效率片,这就会影响太阳能电池产线的正常生产,以至于影响太阳能电池片的外观及质量。
技术实现思路
为解决上述问题,本技术提供一种在线监控PE镀膜均勻性的装置。为实现上述目的,本技术所采用的技术方案为一种在线监控 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种在线监控PE镀膜均勻性的装置,其特征在于包括安装在支架上端的平面镜, 且平面镜的镜面朝上。2.如权利要求1所述的一种在线监控PE镀膜均勻性的装置,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄燕,
申请(专利权)人:浙江向日葵光能科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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