【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种无尘室室内循环空气净化设备，主要于外气入口连设一外气空调箱，该外气空调箱的出口直接导入一无尘室工艺设备区，该无尘室工艺设备区内设有一微污染净化设备及一特殊工艺区，该微污染净化设备中设有至少一吸附机构，该吸附机构上涂布有一吸附层，以吸附无尘室室内循环空气内所含的微污染物，该微污染净化设备与无尘室工艺设备区的特殊工艺区连设，且该无尘室工艺设备区再与一工艺废气处理设备连接，该工艺废气处理设备供处理无尘室工艺设备区内的气体，经处理后再排放至大气中；由此，以净化无尘室工艺设备区的循环空气。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，林哲弘，陈寿忠，徐瑞珠，刘邦昱，洪守铭，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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