过滤器的净化装置和液体供应系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种过滤器的净化装置，所述过滤器设置于液体供应管路中，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。还公开了一种采用如上过滤器的净化装置的液体供应系统。本实用新型专利技术通过在过滤器底部增加一个过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上，通过打开电磁阀可以实现对过滤器底部沉积的研磨液大颗粒或其它杂质进行清理，保证过滤器的正常功能，从而确保供应液如研磨液的质量，减少了晶圆产生瑕疵甚至报废的风险。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种过滤器的净化装置和液体供应系统。
技术介绍
当前，在半导体生产车间内，需要用到很多液体供应系统。其中，研磨液供应系统是一个很重要的液体供应系统。现有的研磨液供应系统主要由两个部分组成原液系统和供应系统。其中，原液系统主要用于搅拌研磨液原液和向供应系统供应研磨液原液。供应系统则起到对研磨液进行配置的作用，保证研磨液正常供应到机台。研磨液质量对产品的质量有着非常关键的作用，因此向研磨机台供应研磨液前必须对所述研磨液进行净化。目前，研磨液供应系统主要是通过一个或多个过滤器来对研磨液进行净化，但是，较大的研磨液颗粒或是其它杂质无法通过过滤器，容易在过滤器外罩底部沉积，时间久了后，会增加过滤器堵塞或丧失部分功能的风险，从而影响研磨液的正常供应和质量，以致增加晶圆在化学机械研磨工艺中产生瑕疵甚至是报废的风险。因此，如何提供一种可以冲洗过滤器的过滤器的净化装置和液体供应系统是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种过滤器的净化装置和液体供应系统，可以实现对过滤器的冲洗，防止较大的研磨液颗粒或是其它杂质堵塞过滤器。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案—种过滤器的净化装置，所述过滤器设置于液体供应管路中，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。优选地，在上述的过滤器的净化装置中，还包括一手动阀，所述手动阀设置于所述排水管上，所述电磁阀位于所述过滤器与所述手动阀之间。优选地，在上述的过滤器的净化装置中，还包括一时间继电器，所述时间继电器与所述电磁阀连接。本技术还公开了一种液体供应系统，用于向机台供应液体，包括液体供应管路和过滤器，所述过滤器设置于液体供应管路中，所述液体供应系统还包括过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部， 所述电磁阀设置于所述排水管上。 优选地，在上述液体供应系统中，还包括一手动阀，所述手动阀设置于所述排水管上，所述电磁阀位于所述过滤器与所述手动阀之间。优选地，在上述液体供应系统中，还包括一时间继电器，所述时间继电器与所述电磁阀连接。本技术的有益效果如下本技术通过在过滤器底部增加一个过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上，通过打开电磁阀可以实现对过滤器底部沉积的研磨液大颗粒或其它杂质进行清理，保证过滤器的正常功能，从而确保供应液如研磨液的质量，减少了晶圆产生瑕疵甚至报废的风险。附图说明本技术的过滤器的净化装置和液体供应系统由以下实施例及附图给出。图1为本技术的液体供应系统及其过滤器的净化装置的结构示意图。具体实施方式以下将对本技术提供的过滤器的净化装置和液体供应系统作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参阅图1，这种液体供应系统，用于向机台(未图示)供应液体。本实施例中，该液体供应系统是用于向研磨机台供应研磨液的研磨液供应系统。这种液体供应系统，包括液体供应管路1和过滤器2，所述过滤器2设置于液体供应管路1中，所述液体供应系统还包括一过滤器的净化装置，其中，所述过滤器的净化装置包括电磁阀4和排水管3，所述排水管3连接于所述过滤器2的底部，所述电磁阀4设置于所述排水管3上。优选地，在本实施例中，还包括一手动阀5，所述手动阀5设置于所述排水管3上， 所述电磁阀4位于所述过滤器2与所述手动阀5之间。可以通过调节手动阀的开合大小来控制排水管6的流量和压力。优选地，在本实施例中，还包括一时间继电器6，所述时间继电器6与所述电磁阀4 连接。可以在时间继电器6上设定时间来控制电磁阀4的开关周期，当时间继电器6的设定时间到达时，时间继电器6向电磁阀4发送打开信号并维持一段时间，此时，供应液会经过滤器2的下部流到排水管3内，以实现对过滤器2的冲洗和净化。当时间继电器6向电磁阀4发送关闭信号时，电磁阀4会关闭，供应液会停止向排水管3流动。综上所述，本技术通过在过滤器底部增加一个过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上，通过打开电磁阀可以实现对过滤器底部沉积的研磨液大颗粒或其它杂质进行清理，保证过滤器的正常功能，从而确保供应液如研磨液的质量，减少了晶圆产生瑕疵甚至报废的风险。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种过滤器的净化装置，所述过滤器设置于液体供应管路中，其特征在于，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。2.根据权利要求1所述的过滤器的净化装置，其特征在于，还包括一手动阀，所述手动阀设置于所述排水管上，所述电磁阀位于所述过滤器与所述手动阀之间。3.根据权利要求1所述的过滤器的净化装置，其特征在于，还包括一时间继电器，所述时间继电器与所述电磁阀连接。4.一种液体供应系统，用于向机台供应液体，包括液体供应管路和过滤器，所述过滤器设置于液体供应管路中，其特征在于，所述液体供应系统还包括过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。5.根据权利要求4所述的液体供应系统，其特征在于，还包括一手动阀，所述手动阀设置于所述排水管上，所述电磁阀位于所述过滤器和所述手动阀之间。6.根据权利要求4所述的液体供应系统，其特征在于，还包括一时间继电器，所述时间继电器与所述电磁阀连接。专利摘要本技术公开了一种过滤器的净化装置，所述过滤器设置于液体供应管路中，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于所述排水管上。还公开了一种采用如上过滤器的净化装置的液体供应系统。本技术通过在过滤器底部增加一个过滤器的净化装置，所述过滤器的净化装置包括电磁阀和排水管，所述排水管连接于所述过滤器的底部，所述电磁阀设置于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：方青春，余文军，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：