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一种水平气浮台制造技术

技术编号:7306532 阅读:261 留言:0更新日期:2012-05-02 18:09
本发明专利技术公开了一种水平气浮台,包括底座,所述底座上罩扣有槽型X向滑台,所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台;所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔,当所述第一进气孔导入气体时,所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜;所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔,当所述第二进气孔导入气体时,所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向滑台与槽型Y向滑台的罩扣立面处形成气膜。本发明专利技术所述的水平气浮台中,以底座的顶面为唯一基准面,使得Y向滑台不会再有X向滑台导致的累计误差,从而能够更加精确的控制设备的X向运动和Y向运动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气浮台结构,尤其涉及一种能够提供X向及Y向滑动的水平气浮台结构。
技术介绍
机械加工及检测领域经常需要能够同时提供X向和Y向移动功能的设备。现有技术中,此类设备一般是在一底座上设置X向滑台,而在该X向滑台上进一步设置Y向滑台,并通过控制所述X向滑台和Y向滑台的移动轨迹来实现X向和Y向的移动功能。然而,上述结构中,Y向滑台是设置于X向滑台之上,却不能直接设置于底座之上, 这就使得Y向滑台的运动精度受到了 X向滑台的影响,使得X向滑台的误差也累计到Y向滑台,从而影响到Y向滑台所驱动的设备的运行轨迹。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的弊端,提供一种水平气浮台。本专利技术所述水平气浮台,包括底座,所述底座上罩扣有槽型X向滑台,所述X向滑台上罩扣有槽型Y向滑台;其中,所述槽型X向滑台开设有导通的第一进气孔和第一出气孔,当所述第一进气孔导入气体时,所述气体自第一出气孔导出并于底座与槽型X向滑台的罩扣面处形成气膜;所述槽型Y向滑台开设有导通的第二进气孔和第二出气孔,当所述第二进气孔导入气体时,所述气体自第二出气孔导出并于底座的顶面与槽型Y向滑台的两立槽的底面之间、以及槽型X向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张瑞杰
申请(专利权)人:张瑞杰
类型:发明
国别省市:

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