一种静压气浮直驱转台制造技术

本发明专利技术涉及一种静压气浮直驱转台。所述转台包括底座、底座连接块、转轴、力矩电机转子、力矩电机定子和力矩电机安装框；转轴上固定安装有力矩电机转子，力矩电机定子和力矩电机安装框相连；转轴的上部安装有上气浮环，力矩电机安装框上方设有与上气浮环对应的第一空气轴承组件；转轴的下部安装有下气浮环，力矩电机安装框下方设有与下气浮环对应的第二空气轴承组件；底座连接块设置在第二空气轴承组件的下方，底座设置在底座连接块的下方，所述底座连接块和底座组成第三空气轴承组件。本发明专利技术具有很高的动静态性能和精度，能够同时满足先进电子制造、光学检测及制造等极限工作条件下对转台运动性能、承载能力和不污染工作环境的综合要求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种直驱转台，尤其涉及一种静压气浮直驱转台。
技术介绍
现有技术中，在先进电子制造、光学检测及制造等设备中，不仅要求转台具有高的精度性能，而且要求转台能够满足高洁净的工作环境。现有的精密定位转台主要有两类一、在驱动上采用传统的“旋转电机和减速器”的方式，在平台支撑上采用传统的机械轴承，由于旋转电机的缺陷，这类转台不可能具有大的加速度和速度，另外由于减速传动环节的存在，降低了转台的动态性能，而其无法避免齿轮间隙带来的误差；二、采用力矩电机驱动的转台，但在转台的运动支撑上仍采用机械轴承结构。这两类转台在机械运动的传动环节都会产生摩擦、磨损、机械振动、噪声等缺点，不仅会影响转台的动态性能和定位精度，而且会产生油污、颗粒等污染物，均无法满足先进电子制造、光学检测及制造等高洁净工作环境的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于避免现有技术的不足提供一种高精度，简化了机械传动机构， 不会产生机械磨损、噪声和产生摩擦力扰动，且不会对工作环境造成油污、颗粒等污染，检测精度高能够同时满足先进电子制造、光学检测及制造等极限工作条件下对转台运动性能、承载能力和不污染工作环境的综合要求的静压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张从鹏，罗学科，谢峰，
申请(专利权)人：北方工业大学，
类型：发明
国别省市：