多晶硅尾气压缩机防泄漏结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于多晶硅行业的活塞式尾气压缩机的防泄漏结构。其目的是为了提供一种结构简单、具有较好密封效果以防止压缩介质往机身侧泄漏的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构。本实用新型专利技术一种多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，包括气缸、机身，还包括双隔室中间座，双隔室中间座位于气缸与机身之间，包括气缸侧隔室和机身侧隔室，气缸侧隔室与气缸固定连接，机身侧隔室与机身固定连接，气缸侧隔室与气缸连接处活塞杆穿过位置设有主填料，隔板上活塞杆穿过位置设有中间填料，机身侧隔室与机身连接处活塞杆穿过位置设有挡油器填料，主填料、中间填料和挡油器填料均通过填料盒与双隔室中间座固定连接，且均通过至少两组浮动密封环与活塞杆动密封。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种活塞式气体压缩机，特别是涉及一种用于多晶硅行业的尾气压缩机的防泄漏结构。
技术介绍
目前，在多晶硅行业用尾气压缩机中，气缸内的压缩介质是混合气体，主要压缩介质是氢气，此外，还包括三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅、氯化氢等，由于压缩介质的特殊性质，使得一旦压缩腔体中的压缩介质泄漏到机身内，就会使机身内的各处润滑油与压缩介质发生反应变质，生成粘稠的胶状物质，堵塞油过滤器，影响传动机构的润滑，进而影响到整个尾气压缩机的正常运转。现有的尾气压缩机的防泄漏结构，是在气缸与机身之间设置填料结构，并在填料与活塞杆之间设置浮动密封环进行动密封，然而，由于活塞杆一直在运动，活塞杆与填料之间的动密封不能保证绝对不泄漏介质，一旦气缸内压缩介质泄漏至机身内，就会带来如上所述的一系列不利后果。因此，采取措施尽可能地减少气缸内压缩介质的泄漏，并对那些不可避免的泄漏介质使其在进入机身前及时排放掉，成为多晶硅行业对尾气压缩机防泄漏结构非常关注的技术问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，提供一种结构简单、具有较好密封效果以防止压缩介质往机身侧泄漏的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构。本技术一种多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，包括气缸、机身，气缸内活塞通过活塞杆与机身内连杆相连，还包括双隔室中间座，双隔室中间座位于气缸与机身之间，包括气缸侧隔室和机身侧隔室，上述两隔室通过隔板分隔，气缸侧隔室与气缸固定连接，机身侧隔室与机身固定连接，其中气缸侧隔室与气缸连接处上穿过活塞杆的位置设有主填料，隔板上穿过活塞杆的位置设有中间填料，机身侧隔室与机身连接处上穿过活塞杆的位置设有挡油器填料，所述主填料、中间填料和挡油器填料均通过填料盒与双隔室中间座固定连接， 填料盒上开设有使活塞杆从中穿过的通孔，填料盒一端设有压盖，主填料、中间填料和挡油器填料均通过至少两组浮动密封环与活塞杆动密封。本技术与现有技术的不同之处在于，在气缸与机身之间增设了双隔室中间座结构，并分别在其与气缸连接处、隔板处、与机身连接处的活塞杆穿过位置设置了密封填料，从而达到使气缸与机身首先从空间上隔离，并在空间隔离的同时逐级密封，由此使得气缸内压缩介质与机身之间达到较好的密封效果，防止压缩介质泄漏至机身内污染润滑油， 同时延长了压缩机防泄漏结构的使用寿命。本技术多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述主填料通过至少四组浮动密封环与活塞杆动密封，主填料内设置气室和充气空腔，气室与充气空腔分别位于两组浮动密封环之间，且环绕活塞杆并与活塞杆的外表面相接触，充气空腔设于气室右侧，所述气缸侧隔室上开设有第一排气口和第一高压进气口，气室通过管路与第一排气口相连通，充气空腔通过管路与第一高压进气口相连通，第一高压进气口的进气端连接0. 15-0. 2Mpa的氢气进气管道。采用上述结构，是为了将气缸内泄漏的压缩介质在其泄漏至主填料内时通过第一排气口排放出去，并在主填料处增加高压氢气阻塞密封装置，阻止泄漏介质继续往右侧泄漏，使用氢气高压阻塞，是为了避免其他气体如氮气进入汽缸影响用户的加工工艺。本技术多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述气缸侧隔室或机身侧隔室上开设有第二高压进气口，第二高压进气口与位于中间填料与活塞杆之间且在两组浮动密封环之间的间隙通过管路相连通。第二高压进气口的进气端连接0. 15-0. 2Mpa的氮气进气管道。采用这种结构，是为了在中间填料处增加一级高压氮气阻塞密封，进一步加强整个气封装置的密封性能，阻止压缩介质经中间填料进一步往机身侧泄漏。本技术多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述机身侧隔室上开设有第三高压进气口，第三高压进气口与位于挡油器填料与活塞杆之间且在两组浮动密封环之间的间隙通过管路相连通，第三高压进气口的进气端连接0. 15-0. 2Mpa的氮气进气管道。采用这种结构，是为了在挡油器填料处增加一级高压氮气阻塞密封，进一步加强整个气封装置的密封效果，阻止泄漏至此的压缩介质往机身内泄漏。本技术多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其中所述机身侧隔室上开设有吹扫气进气口和第二排气口，吹扫气进气口的进气端连接0. 05-0. IMpa的氮气进气管道，第二排气口与连通至安全区的管线连接。采用这种结构，是在三级填料密封与高压气体阻塞密封的基础上，在气缸内泄漏的压缩介质进入机身之前，保证从吹扫气进气口进入的气体能够有效对泄漏至机身侧隔室内的压缩介质进行吹扫，使其从第二排放口处零压排放出去，进一步防止泄漏至此的压缩介质往机身内泄漏，有效保证了整个防泄漏结构的密封效果，避免因泄漏压缩介质进入机身而给机身带来一系列不利后果。以下结合附图对本技术的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构作进一步说明。附图说明图1为本技术多晶硅尾气压缩机防泄漏结构的结构示意图；图2为图1中I部分的局部放大图；图3为图1中II部分的局部放大图；图4为图1中III部分的局部放大图。具体实施方式如图1至图4所示，本技术多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，包括气缸1、机身 2，气缸1内活塞3通过活塞杆4与机身2内连杆5相连，还包括双隔室中间座，双隔室中间座位于气缸1与机身2之间，包括气缸侧隔室6和机身侧隔室7，上述两隔室6、7通过隔板 11分隔，气缸侧隔室6与气缸1通过螺栓紧固连接，机身侧隔室7与机身2通过螺栓紧固连接，其中气缸侧隔室6与气缸1连接处上穿过活塞杆4的位置设有主填料8，隔板11上穿过活塞杆4的位置设有中间填料9，机身侧隔室7与机身2连接处上穿过活塞杆4的位置设有挡油器填料10，主填料8、中间填料9和挡油器填料10均通过填料盒22与双隔室中间座通过螺栓连接，填料盒22上开设有使活塞杆4从中穿过的通孔，填料盒22 —端设有压盖33，以将填料盒22内的填料8、9、10压紧，中间填料9和挡油器填料10均通过两组浮动密封环12与活塞杆4动密封，挡油器填料10内浮动密封环12的右侧设有两组刮油环21， 主填料8通过七组浮动密封环12与活塞杆4动密封，主填料8包括气室14和充气空腔15， 气室14与充气空腔15分别位于两组浮动密封环12之间、环绕活塞杆4并与活塞杆4的外表面相接触，充气空腔15设于气室14右侧，气缸侧隔室6上开设有第一排气口 16和第一高压进气口 17，气室14通过管子与第一排气口 16相连通，充气空腔15通过密封垫圈、管子和卡套式接头与第一高压进气口 17相连通，机身侧隔室7上开设有吹扫气进气口 18、第二排气口 19和第二高压进气口 20，第三高压进气口与第二高压进气口 20为同一个进气口，下面所述的第二高压进气口 20皆同指第三高压进气口，第二高压进气口 20与位于中间填料9 与活塞杆4之间且在两组浮动密封环12之间的间隙通过卡套式接头、管子和密封垫圈相连通，第三高压进气口与位于挡油器填料10与活塞杆4之间且在两组浮动密封环12之间的间隙通过卡套式接头、管子和密封垫圈相连通，第一高压进气口 17连接0. 15-0. 2Mpa的氢气进气管道，吹扫气进气口 18连接0. 05-0. IMpa的氮气进气管道，第二高压进气口 20连接 0. 15-0. 2Mpa的氮气进气管道，上述三个进气管道上均连接有减压阀和压力表，实际操作时可通过调节减压阀来控制气缸侧隔室6和机身侧隔室7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，包括气缸(1)、机身O)，气缸(1)内活塞(3)通过活塞杆⑷与机身⑵内连杆(5)相连，其特征在于还包括双隔室中间座，双隔室中间座位于气缸(1)与机身( 之间，包括气缸侧隔室(6)和机身侧隔室(7)，上述两隔室(6、7) 通过隔板(11)分隔，气缸侧隔室(6)与气缸⑴固定连接，机身侧隔室(7)与机身⑵固定连接，其中气缸侧隔室(6)与气缸(1)连接处上穿过活塞杆的位置设有主填料(8)， 隔板(11)上穿过活塞杆⑷的位置设有中间填料(9)，机身侧隔室(7)与机身⑵连接处上穿过活塞杆(4)的位置设有挡油器填料(10)，所述主填料(8)、中间填料(9)和挡油器填料(10)均通过填料盒0 与双隔室中间座固定连接，填料盒0 上开设有使活塞杆(4) 从中穿过的通孔，填料盒02) —端设有压盖(33)，主填料(8)、中间填料(9)和挡油器填料 (10)均通过至少两组浮动密封环(1 与活塞杆(4)动密封。2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气压缩机防泄漏结构，其特征在于所述主填料(8) 通过至少四组浮动密封环(1 与活塞杆(4)动密封，主填料(8)内设置气室(14)和充气空腔(15)，气室(14)与充气空腔(15)分别位于两组浮动密封环(12)之间，且环绕活塞杆 (4)并与活塞杆的外表面相接触，充气空腔(15)设于气室(14)右侧，所述气缸侧隔室 (6)上开设有第一排气口(16)和第一高压进气口(17)，气室(14)通过管路与第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杨，张艳芷，
申请(专利权)人：北京金凯威通用机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：