金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体制造技术

一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体，由真空室体（1）和密封盖（2）组成，真空室体（1）和密封盖（2）通过铰链（3）连接；真空室体（1）的上面有开口(11)，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)、连接螺栓孔(13)和用于安装密封圈的密封槽(14)，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体，真空室体（1）侧面还安装有行进窗调整块(15)。本实用新型专利技术可以在金属卷绕条带上镀制太阳选择性吸收涂层的真空镀膜设备，本实用新型专利技术将打破进口垄断，使金属条带太阳能吸收膜国产化，具有结构简单、可灵活拼装的特点，可在各种卷绕条带上镀制各种功能膜，膜层均匀，性能稳定，且效率高，适合大规模工业化生产。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空镀膜设备，特别是一种在金属(铜或铝)卷绕条带上连续镀制太阳能选择性吸收涂层，应用于太阳能平板式集热器上的金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体。
技术介绍
为了节约能源、保护环境、提高人民生活水平，我国太阳热水器产业在近十多年内迅猛发展。太阳热水器生产量和销售量都飞速增长。如今，我国已成为世界上太阳热水器的生产和销售大国，年销售量和总保有量都居世界第一位。我国太阳热水器种类甚多，有真空管热水器、平板型热水器、闷晒型热水器等几大类，以真空管热水器为主。但真空管太阳能热水器存在易爆管、维修不方便，与建筑结合存在不美观等缺陷。而在国外，大多采用平板型热水器。我国一些大型太阳能热水工程也多采用平板型太阳能集热器，但所使用的金属条带太阳能吸收膜主要靠进口。由于平板型太阳能热水器采用金属板材作吸热核心元器件，具有坚固耐用等优点，能与建筑完美结合，克服了真空管太阳能热水器在安装、维护及使用寿命，与建筑结合等不足之处。太阳能平板型热水器采用的是平板金属条带作为核心吸热元件，因此，集热板表面的选择性吸附涂层的镀制质量与性能以及耐气候性，是决定整个太阳能热水设备的关键技术，而金属条带连续卷绕设备则是制备金属条带选择性吸附涂层的关键设备。国内目前使用的是阳极氧化(电镀)技术生产太阳能平板集热器，该技术损害环境，有电镀污水，已被限制生产同时产品质量低劣，发射率极高；另外还有采用喷涂技术生产太阳能平板集热器，该技术生产的产品质量更差，吸收率低，发射率更高。采用真空磁控溅射技术镀制太阳能平板集热器的也是一些单室小型设备，产品质量也极不稳定。现有的金属条带连续卷绕镀膜装置大多是箱体式的，放卷室、收卷室和溅射室均在一个箱式体内。中国专利200420077793. 6公开的一种太阳能选择性吸附涂层连续镀膜装置，所述真空室与真空室两室之间设置一个独立的过度装置，虽然完成单个室独立连续镀膜，但上述的设备在镀制过程中，工件在每一个镀膜之后，都会脱落真空环境之后进入真空过度装置中，这样由于在两次镀制过程中工件在温度和真空条件变化下，容易影响膜层质量。中国专利200810M1896. 7公开的一种连续卷绕式磁控溅真空镀膜装置，在其真空室内腔中水平设置有由三个辊构成的三角形张力控制装置，此装置结构使金属条带卷弯半径小，易将镀膜后膜层损坏。另外，上述两种金属条带连续卷绕镀膜装置在工艺室中部设有工艺室隔离板，将工艺室隔离成两个独立的腔体，原材料消耗和工艺能耗都比较大。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术的上述不足，而提供一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体。本技术的技术方案是一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体，由真空空室体和密封盖通过铰链连接；真空室体的上面有开口，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗、连接螺栓孔和用于安装密封圈的密封槽，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体。真空室体侧面还安装有行进窗调整块。本技术与现有技术相比，具有如下特点一、积木式结构可以根据工艺要求进行真空室功能拼装与增减，有利于达到工艺所需要求，如第一个和第二个真空室做清洗金属条带的离子源轰击清洗室，如清洗不干净也可以增加一个真空室做清洗金属条带的离子源轰击清洗室，其他功能室也可类似进行拼装调整，该结构新颖、简单、实用。二、金属条带是水平直线勻速运动的，从而攻克了现有技术因金属条带卷弯半径小，易将镀膜后膜层损坏等技术难题，同时节省原材料及能耗。三、采用积木式结构在制备金属条带的整个流程中，金属条带自始至终都处于相同真空环境下，不露大气，保证了膜层颜色、厚度的一致性，性能稳定，同时真正实现了成卷的金属条带进行长时间连续镀膜生产，效率高，适合大规模工业化生产。以下结合图和具体实施方式对本技术的详细结构作进一步描述。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的左视图。具体实施方式如图1所示一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体，由真空室体(1)和密封盖⑵组成，真空室体⑴和密封盖⑵通过铰链⑶连接；真空室体⑴的上面有开口 (11)，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)、连接螺栓孔(1 和用于安装密封圈的密封槽(14)，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体，真空室体 (1)侧面还安装有行进窗调整块(15)。本技术除了收、放卷室外，其余所有真空室的结构都是一样的积木式的真空室，并采用积木式方式进行拼装、连接，每个积木式的真空室均有独立的真空系统，根据工艺要求，可以安装圆柱型定向溅射旋转靶，也可安装平面靶，还可安装孤源靶，还可根据工艺要求针对积木式结构的真空室进行功能拼装与增减。总之，这是一种新颖的实用的可以在金属卷绕条带上镀制太阳选择性吸收涂层的真空镀膜设备，本专利技术将打破进口垄断，使金属条带太阳能吸收膜国产化，具有结构简单、可灵活拼装的特点，可在各种卷绕条带上镀制各种功能膜，膜层均勻，性能稳定，且效率高，适合大规模工业化生产。权利要求1.一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体，由真空室体(1)和密封盖(2)组成，真空室体(1)和密封盖(2)通过铰链(3)连接；真空室体(1)的上面有开口(11)，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)、连接螺栓孔(1 和用于安装密封圈的密封槽(14)，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体。2.根据权利要求1所述的金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体，其特征是真空室体侧面还安装有行进窗调整块(15)。专利摘要一种金属条带连续卷绕真空镀膜机真空箱体，由真空室体(1)和密封盖(2)组成，真空室体(1)和密封盖(2)通过铰链(3)连接；真空室体(1)的上面有开口(11)，侧面有供金属条带通过的长方形行进窗(12)、连接螺栓孔(13)和用于安装密封圈的密封槽(14)，真空室与真空室之间通过连接螺栓和密封圈密封连接为一个整体，真空室体(1)侧面还安装有行进窗调整块(15)。本技术可以在金属卷绕条带上镀制太阳选择性吸收涂层的真空镀膜设备，本技术将打破进口垄断，使金属条带太阳能吸收膜国产化，具有结构简单、可灵活拼装的特点，可在各种卷绕条带上镀制各种功能膜，膜层均匀，性能稳定，且效率高，适合大规模工业化生产。文档编号C23C14/00GK202201965SQ201120243688公开日2012年4月25日 申请日期2011年7月12日 优先权日2011年7月12日专利技术者李云松, 李云程, 李纲, 颜朝阳 申请人:湖南菲尔姆光能有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李云程，李纲，颜朝阳，李云松，
申请(专利权)人：湖南菲尔姆光能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：