【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及适宜作为显示元件的保护膜、层间绝缘膜等固化膜的形成材料的聚硅氧烷组合物、由该组合物形成的固化膜及该固化膜的形成方法。
技术介绍
作为液晶显示元件等显示元件，在其制造工序中，要利用溶剂、酸或碱溶液等进行浸渍处理，另外通过溅射形成布线电极层时，元件表面会局部地曝露于高温下。为了防止这种浸渍处理及高温处理使显示元件发生劣化或损伤，要在元件的表面设置对这些处理具有耐受性的保护膜。对于这种保护膜来说，要求具有以下性能相对所要形成该保护膜的基板或下层、 以及在保护膜上形成的层，贴紧性高、膜本身平滑且强韧、具有透明性、即使在高温条件下也不变色从而能够保持透明性、表面硬度充足、耐擦伤性优异等。为了满足这种所需特性，主要使用丙烯酸系树脂作为用于形成保护膜的射线敏感性组合物的成分，并尝试使用了耐热性及透明性比丙烯酸系树脂更优异的聚硅氧烷系材料作为射线敏感性组合物的成分(专利文献1 3)。但是，聚硅氧烷系材料与ITO (铟锡氧化物)透明导电膜的贴紧性不足，固化膜容易发生开裂(龟裂)，因此存在着作为保护膜不实用的不良情况。而且，在显示元件中的钼布线上贴紧性不足时，保护膜可...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：铃木康伸，本田晃久，奥田务，上田二朗，
申请(专利权)人：JSR株式会社，
类型：发明
国别省市：
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