一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器制造技术

本发明专利技术公开一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器，包括：可变电阻，可变电感以及固定电容。可变电阻由多匝线圈组成，在每一个线圈都引出信号线，所述的可变电感采用螺旋形结构，螺旋结构采用矩形截面，每个螺旋单元分为两层，上层斜梁通过支撑柱子与下层横梁保持悬空和电连接，上层斜梁和上层横梁构成一个线圈，电感由多匝线圈构成，每个单元都引出信号传输线。电容由上电极和下电极，上电极通过柱子与下电极保持悬空，电极和柱子之间通过横梁来连接，下电极和上电极分别引出信号传输线。本发明专利技术在不增加工艺复杂程度的同时通过MEMS工艺来加工完成，通过减小电阻丝的匝数和电感线圈的匝数来实现电阻和电感变化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电系统领域，具体的说，涉及一种电可调式RLC串、并联MEM谐振器
技术介绍
谐振器就是指产生谐振频率的电子元件，起产生频率的作用，具有稳定，抗干扰性能良好的特点，广泛应用于各种电子产品中，谐振器重要起频率控制的作用，所有电子产品涉及频率的发射和接收都需要谐振器。MEMS谐振器的主要应用领域包括便携式产品(如手机、MP4)，太阳能，汽车电子，工控以及网络路由器、通信基站等领域。据透露，中兴、华为等企业均已采用MEMS可编程振荡器到各自产品中。石英晶体谐振器运用很广泛。基于MEMS 的谐振器件同石英器件相比，尺寸小，价格相当，可靠性高，特别是有极强的抗冲击和振动性能，可同时实现高Q值。MEMS谐振器通过微加工的方式来实现RLC串并联结构，根据不用电路的要求可以改变相应的L来改变谐振频率，改变R的值可以控制和调节谐振时电流和电压幅度的作用。经检索，现有申请号为200480027070. 0(公开号为 1853345)和 200680048616. X(公开号为101346879)的专利技术专利申请，提出过MEMS谐振器及其制备方法，但是结构单一，适用范围小。
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何明轩，汪红，刘瑞，丁桂甫，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：