在一种用于从基本上无机晶体材料，更具体地从半导体材料的锭料上切下多边形的柱形块体的线锯中，设置了具有至少两个成角度地偏置的锯线区的切割轭架(5)，该切割轭架(5)可以在锯进给方向(7)上移位。轭架经由两个导轨(40，42)的组件联接于承载器(38)。以这种方式，为了执行维护等操作，可以通过将一个导轨(42)从另一导轨(40)中拉出而容易地将轭架(5)从线锯的处理腔(1)中移除。切割轭架(5)中的锯线在基本上弯曲形的路径中被引导，从而使得切割线基本上只在线区(区段14，16)中和切割轭架(5)的框架(20)的侧部上延伸。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及根据权利要求1或8的前序部分所述的线锯。
技术介绍
为了将(半导体)锭料或通常地无机晶体材料体分割成所谓的块体，使用了线锯等。一般来说，线锯的优点在于材料损耗低。一般情况下，所述块体是具有多边形横截面， 主要是方形或矩形横截面的柱体。然而，例如也可以是六边形的横截面。用于这种应用的线锯具有在切割方向上相继地布置的并且彼此呈角度地偏置的两个或更多个线区。对于矩形横截面的块体来说，该角度等于90°。例如从JP-A-3049863和EP-A-O 734 824已知本领域的这种类型的线锯。这些线锯中的一个问题是为了维护的目的接近线引导部和线偏转装置。同样，将锯线穿入线区很复杂。与晶片线锯相比，由于线路径更复杂，因此更难于接近线引导部。此外，在锯切操作之后，在锯切区的所有零件——特别地还有偏转辊子等——覆盖有包含磨料以及磨屑的明显的一层工作流体，即所谓的浆料。另一问题是如JP-A-3049863所描述的螺旋形线路径需要相对较大的线长度。锭料移动通过锯线区并且随后在被分割的条件下被封闭在锯线区和另外的周向线锯区段之间，即锯线螺旋内。因此，需要后者具有相应较大的横截面。
技术实现思路
因此，本专利技术的第一目的是提供一种线锯，在该线锯中，简化了线区的通路。另一目的是提供一种线锯，该线锯具有改进的线路径，更具体地具有较短的锯线非切割区段的线区线锯。在权利要求1和8中限定了这种线锯。其他的权利要求简述了优选实施方式和使用线锯的方法。根据第一方面，具有锯线区的切割轭架通过可释放的保持装置固定于线锯上。保持装置被设计成能够以简单的方式将切割轭架从线锯移除。保持装置优选地包括导轨组件，从顶部至底部切割穿过工件的切割轭架悬挂于该导轨组件。更具体地，所述导轨组件的零件是可以相互移位的，从而使得能够将轭架移出机械。在被插入的条件下，导轨组件优选地是可以通过例如夹紧装置锁定的，从而使得切割轭架以不可移动的方式保持在其工作位置。根据第二方面，线穿过锯切区域至切割轭架的边缘并且在那里被大致偏转180°。 因此，在最简单的布置中，产生了锯线的弯曲形的路径。然而，不排除以更大的间距偏转锯线，从而使得线首先穿过例如线区的排1、3、5，并且之后可以穿过其它线区之后再穿过线区的最初遗漏的排。在优选的实施方式中，锯线首先例如通过偏转辊子被偏转离开切割平面90°。该结果基本上是弯曲处的180°的转动分别地垂直于切割平面和平行于锯进给方向被折叠，通过该布置，可以实现由锯线的施加于工件上的压力导致的载荷作用于在切割平面中延伸的垂直于偏转轴线的前面的偏转装置。与其不同地，其轴线在进给方向上——即，水平地——延伸的180°偏转辊子将在其旋转轴线的方向上被加载，即其运转槽的侧部将经受较大的磨损。附图说明将通过示例性实施方式并且参考附图对本专利技术进行进一步的解释。附图示出了 图1是线锯的处理室的视图；图2是与图1相同的视图，其中切割轭架被拉出；图3是切割轭架中的线路径的示意图；图4是切割轭架和保持装置的沿图3中的剖切线IV-IV的剖视图。 具体实施例方式图1示出了线锯的处理腔1。在处理腔1的后部处，这种线锯的其余零件如现有技术中已知的那样定位并且因此不再进行描述。更特别地，这些进一步包括用于锯线的卷轴和引导装置、浆料供给单元等。在处理腔1的底部，布置有用于工件承载器的支撑部3。工件支撑于其上，同时切割轭架5从上方下降(箭头7)以便从锭料切割出块体，即工件。锯线通过后部壁11中的窗口 9被供给至切割轭架5，并且通过此处不可见的第二窗口被引导出处理腔1。在锯切操作中，将锯线在一个方向上移动一定的长度并且之后返回稍短的距离。总之，结果为缓慢地向前运动。可替代地，所述线可以完全在一个方向上移动并且之后返回。在切割轭架5的底部，布置有第一线区的锯线区段14并且其垂直于第二区的锯线区段16。通过布置在切割轭架5的框架20的下侧部上的偏转辊子18使锯线偏转成平行于进给方向7。然后，其缠绕复位辊子22、24和25 180°，除了两个例外。其中一个例外是这些辊子中第一个26 通过该辊子26，从线锯的供给区段引导至处理腔1中的线经由布置在轭架5的左前角部27 (图1中)附近的辊子组件被引导至平行于切割轭架5的前部梁28的支撑辊子26上。由于根据现有技术设计的该辊子组件(未示出)以不动的方式布置在处理腔中，锯线总是行进至辊子26上并且切向地离开辊子26，这取决于切割线的运动方向， 然而，处于可变角度内，该可变角度是处理腔中切割轭架5的高度的函数。近似地，辊子26 上的接触弧在所示出的上部位置处将是220°并且在靠近锯切操作的末尾的最低位置处大约 360° 。切割轭架5的对角地相对的角部处一一在锯线的另外的端部被引导出处理腔1的地方——具有相对应的情况和构造。为了更清晰的目的，图3示出了基本上不具有轭架5 的固定零件的辊子的布置。此处，轭架5处于接近操作顺序的末尾的较低位置，并且进入和离开的锯线29向上行进离开辊子26，其上的接触弧大约为320°。偏转辊子18限定两个线区的分界。在本示例中，每个线区具有六个平行的线区段 (排)14、16，从而使得在一个锯切循环中每个锭料能够切出25块块体。此时，最外部的线切掉锭料的板片。偏转辊子18以可旋转的方式单独地支撑在支承块30中。辊子，更具体地说辊子18被单独地支撑的事实还提供了如下优点辊子的不均勻磨损——即，辊子不同的直径——不影响线的张力。也可能由于制造误差而造成的较小的偏转辊子可以比较大直径的辊子旋转的快。设置有马达驱动器驱动复位辊子22、26，然而，两个复位辊子24之间设置有载荷测量装置。对角线上的偏转辊子32中的一个也设置有载荷测量装置。对角线偏转辊子32 引导锯线34从第一锯线区至垂直于其延伸的第二锯线区。载荷测量装置的信号用于连续地检测锯线34的张力以及以如下方式控制复位辊子22、26的驱动器在整个线区产生常数均值的线张力。然而，由于锯线在锭料上的摩擦力，不可避免的是在线进给方向上在一个复位辊子22、26和各自的下一辊子之间线张力增加。辊子22、24和26相对的复位辊子25是自由轮转的。总而言之，在本示例中，每个第四排后都设置有驱动器，并且同样地在两个排之间每个第四排后测量锯线张力。如图2和4中具体地显示的，轭架5悬挂于承载器38。承载器38在锯进给方向 (箭头7)上可移位。承载器38和切割轭架5之间的连接由分别位于承载器38和切割轭架 5上的两个导轨40、42的导轨组件形成。导轨40在两侧包围轨道42。在导轨42的中央延伸有底切槽44，夹紧锚固件46与该底切槽44接合。如图2所示，通过将导轨42插入导轨 40，同时降低夹紧锚固件46。能够将轭架5推入处理腔1中直至预定的位置。在最简单的情况下，通过邻接导轨40的后端部的导轨42确定该位置。通过向上移动棒48，该棒48通过杆50按压夹紧锚固件46的后端部52，将轭架5锁定在该位置。可以以任何希望的方式实现该移动，例如，马达驱动，液压或气动。因此，通过弹簧54向上推动夹紧锚固件46，并且由此锁定导轨42。通过以向下推动棒48以便释放导轨42作为开始的相反的步骤，能够从处理腔中移除轭架5。通过连接于轭架5的侧部或例如在轭架5的向前或向后梁处接合成环的常用的移动或固定的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·弗里克，克里斯托夫·居特纳，罗伯托·波韦利亚诺，
申请(专利权)人：梅耶博格公司，
类型：发明
国别省市：
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