【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种,特别涉及一种以真空镀膜的方式形成的。
技术介绍
真空镀膜工艺在工业领域有着广泛的应用,其中,TiN薄膜镀覆在刀具或模具表面能大幅提高刀具和模具的使用寿命。然而,随着金属切削加工朝高切削速度、高进给速度、 高可靠性、长寿命、高精度和良好的切削控制性方面发展,对表面涂层的性能提出了更高的要求。传统的TiN涂层在硬度、韧性等方面已经不能满足要求。ZrN薄膜由于其硬度与韧性均优于TiN薄膜而受到人们的广泛关注。但单一的ZrN 薄膜在硬度、耐磨性等方面几乎已经没有提高的空间,很难满足现代工业的需求。中国专利CN100480043C中提到在金属、硬质合金或陶瓷的硬质基体上沉积&N/ Al2(CVxNx)3纳米复合涂层,这种纳米复合涂层的硬度超过30GPa,但其耐磨性并没有提高。有研究发现薄膜具有高硬度、高耐腐蚀性等优点,可作为超硬工具材料及表面保护材料。但由于本身是一种易碎材料,其韧性及耐磨性差,使其在刀具或模具涂层上的应用受到了限制。
技术实现思路
有鉴于此,有必要提供一种具有高硬度、良好的耐腐蚀性及耐磨性的涂层。另外,有必要提供一种具有上述涂层的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张新倍,陈文荣,蒋焕梧,陈正士,胡智杰,
申请(专利权)人:鸿富锦精密工业深圳有限公司,鸿海精密工业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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