压电致动器驱动电路以及压电致动器装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够高效率地驱动压电致动器的压电致动器驱动电路以及压电致动器装置。本发明专利技术的压电致动器驱动电路(3)对分极部(4a、4b)被施加驱动电压的压电致动器(2)进行驱动，该压电致动器驱动电路(3)的特征在于，具有：电压源(14)；高压侧开关元件(16)，其连接在分极部与电压源之间；低压侧开关元件(18)，其连接在分极部与接地电位之间；以及开关元件控制电路(12)，其周期性地切换仅将高压侧开关元件设为导通状态的电压施加期间、将高压侧开关元件和低压侧开关元件均设为非导通状态的浮动期间以及仅将低压侧开关元件设为导通状态的接地期间，由此将电压脉冲施加到分极部，驱动压电致动器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压电致动器驱动电路，特别是涉及一种对具备多个分极部、多个分极部中的至少一个被施加驱动电压的压电致动器进行驱动的压电致动器驱动电路以及具备该压电致动器驱动电路的压电致动装置。
技术介绍
驻波型超声波马达(压电马达)等压电致动器通常在一体的压电元件内形成有多个分极部，对这些分极部中的一个或者多个分极部施加来自高压电源的电压脉冲，从而驱动压电致动器。在对多个分极部中的一个施加电压脉冲的致动器中，在使致动器正转(正方向驱动)以及使致动器反转(反方向驱动)的情况下，对不同的分极部施加电压脉冲。另外，在对多个分极部施加电压脉冲的致动器中，施加到各分极部的电压脉冲的波形的相位互不相同，在使致动器正转(正方向驱动)以及使致动器反转(反方向驱动)的情况下，变更各电压脉冲波形的相位关系。在日本专利4406952号公报(专利文献1)中记载有振动致动器。在该振动致动器中，对振子输入两个交流信号，改变这些交流信号中的至少一个的电压或者相位，由此控制振子的椭圆运动轨迹中的轴的倾斜。专利文献1 日本专利4406952号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在记载于日本专利4406952号公本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：村上匡亮，
申请(专利权)人：株式会社腾龙，
类型：发明
国别省市：