电容性微机械加工的超声换能器制造技术

本申请公开了一种电容性微机械加工的超声换能器，其包括：硅衬底；腔；第一电极，其被布置在硅衬底和腔之间；其中，第一电极被布置在腔之下；膜，其中，膜被布置在腔之上并且与第一电极相对；第二电极，其中，第二电极被布置在腔之上并且与第一电极相对；其中，第二电极被布置在膜内或靠近膜，其中，第一电极和第二电极适于由电压供应；以及第一隔离层，其被布置在第一电极和第二电极之间，其中，第一隔离层包括电介质。还描述了用于生成或检测超声波的系统，其中，该系统包括根据本申请的换能器。此外，公开了一种用于制造根据本申请的换能器的方法，其中，借助于ＣＭＯＳ制造工艺制造换能器，其中，可以按照ＣＭＯＳ工艺期间的后处理特征制造换能器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种电容性微机械加工(micromachined)的超声换能器、用于生成或检测超声波的系统以及用于制造换能器的方法。
技术介绍
电容性微机械加工的超声换能器(CMUT)本质上是平行板电容器。顶部电极被嵌入到膜(membrane)中。电极间的RF电压使膜通常以几MHz振动。电容性微机械加工的超声换能器以高效率和高输出功率著称。
技术实现思路
然而，现有技术的电容性微机械加工的超声换能器的已知劣势是充电，并且充电常常妨碍换能器的实际实施。由于充电，换能器可能不稳定，并且换能器的特征可能漂移。因此，期望提供经改进的换能器以及用于解决充电问题的方法。根据本专利技术构思对充电问题的解决方案将得到电容性微机械加工的超声换能器，其可以在各种应用中使用，这是因为其与具体应用无关。特别地，根据本专利技术，所谓的ONO电介质层提供对充电的解决方案。根据本专利技术的第一方面，提供了一种电容性微机械加工的超声换能器，其包括硅衬底；腔；第一电极，其被布置在硅衬底和腔之间；其中，第一电极被布置在腔之下；膜，其中，膜被布置在腔之上并与第一电极相对；第二电极，其中，第二电极被布置在腔之上并与第一电极相对本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种电容性微机械加工的超声换能器，包括硅衬底（２０９）；腔（２０５）；第一电极（２０７），其被布置在所述硅衬底（２０９）和所述腔（２０５）之间；其中，所述第一电极（２０７）被布置在所述腔（２０５）之下；膜，其中，所述膜被布置在所述腔（２０５）之上，并与所述第一电极（２０７）相对；第二电极（２０３），其中，所述第二电极（２０３）被布置在所述腔（２０５）之上，并与所述第一电极（２０７）相对；其中，所述第二电极（２０３）被布置在所述膜中或靠近所述膜，其中，所述第一电极（２０７）和所述第二电极（２０３）适于由电压供应；以及第一隔离层（２０４），其被布置在所述第一电极（２０７）和所述第二电极（２０３...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·H·克鲁特威克，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL