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本申请公开了一种电容性微机械加工的超声换能器，其包括：硅衬底；腔；第一电极，其被布置在硅衬底和腔之间；其中，第一电极被布置在腔之下；膜，其中，膜被布置在腔之上并且与第一电极相对；第二电极，其中，第二电极被布置在腔之上并且与第一电极相对；其中...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

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