【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例大体上是关于光电电池的制造。
技术介绍
太阳能电池为将太阳光直接转换成电能的光电装置。最常见的太阳能电池材料为 硅，其为单晶或多晶型基板(有时称为晶片)。因硅基太阳能电池产生电的摊还成本高于传 统方法，故已致力于降低太阳能电池的制造成本。许多方式能制造太阳能电池的作用区和太阳能电池的载流金属线或导体。然这些 先前技术的制造方法有数个缺点。例如，形成工艺为复杂的多步骤工艺，此增添了完成太阳 能电池所需的费用。因此，需要改良方法和设备以于基板表面上形成作用区和载流区，进而形成太阳 能电池。
技术实现思路
本专利技术大体上提出形成太阳能电池装置的方法，包含配置介电材料至基板第一表 面的数个区域上、配置第一掺质材料至基板表面、以及配置第二掺质材料至基板表面，其中 至少一部分的第一和第二掺质材料彼此被介电材料隔开。本专利技术亦提出形成太阳能电池装置的方法，包括配置第一掺质材料至基板的第一 表面、形成掺质层至第一掺质材料和基板的第一表面之上，其中此层包含第二掺质材料、以 及加热基板达预定温度，促使第一和第二掺质材料扩散进入基板的第一表面而于基板的第 一表面形...
【技术保护点】
１．一种形成太阳能电池装置的设备，包含：自动化构件，装配以接收待处理基板；数个传送组件，各具耦接该自动化构件的基板支撑面；第一沉积站，具有一网印屏蔽，其适于形成包含一第一掺质材料的一掺质材料于该基板的第一表面的数个区域上，该基板配置于该自动化构件中该传送组件的该基板支撑面上；至少一个干燥腔室，其适于干燥该自动化构件中形成于配置在该传送组件的该基板支撑面的该基板上的该第一掺质材料；以及第二沉积站，其适于形成介电层至该第一掺质材料和该基板的部分该第一表面上，其中该介电层包含该第一掺质材料的相反掺杂型态的第二掺质材料。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·W·韦德曼，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US
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