【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
１．一种真空排气装置，具备：主泵；与所述主泵串联连接的辅助泵；以及连接所述主泵的排气口与所述辅助泵的吸气口之间的泵间配管，其特征在于，所述主泵包括机械增压泵，所述主泵的发动机的最大功率对所述主泵的最大排气速度的比率为５Ｗ（ｍ３／ｈ）以上，在所述泵间配管上设置有从该泵间配管的中途分支的分支配管，在所述分支配管的中途设置有释放所述泵间配管内的气体并防止该气体倒流的逆止阀。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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