温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种真空排气装置，具备：主泵；与所述主泵串联连接的辅助泵；以及连接所述主泵的排气口与所述辅助泵的吸气口之间的泵间配管，所述主泵包括机械增压泵，所述主泵的发动机的最大功率对所述主泵的最大排气速度的比率为５Ｗ（ｍ３／ｈ）以上，在所述泵间配管上设...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。