原料回收方法及用于原料回收的收集机构技术

本发明专利技术提供一种原料回收方法，该原料回收方法从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在处理容器中，使用使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物的原料气化而得到的原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于，该原料回收方法具有：凝固工序，通过使上述排出气体与上述制冷剂接触而进行冷却，使未反应的原料气体凝固，并再次析出上述原料；回收工序，其从上述制冷剂中分离并回收在上述凝固工序中再次析出的上述原料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于回收由成膜装置排出的排出气体中的未反应的原料气体的原料 回收方法及用于原料回收的收集机构。
技术介绍
一般地，在形成IC等集成电路或逻辑元件时，反复进行在半导体晶圆、LCD基板等 被处理体的表面上形成期望的薄膜的工序以及利用期望的图案蚀刻该膜的工序等。以成膜工序为例，通过在处理容器内使规定的处理气体(原料气体)反应，能够在 被处理体的表面上形成例如硅的薄膜、硅的氧化物或氮化物的薄膜、金属的薄膜、金属的氧 化物或氮化物的薄膜等。在此，与该成膜反应同时地产生了多余的反应副产物，其与排出气体一起被排出。 另外，未反应的处理气体也被排出。当该反应副产物、未反应的处理气体直接被放出到大气中时，成为环境污染等的 原因。因而，一般地，在从处理容器延伸的排气系统中设置收集机构，利用该收集机构，捕获 并去除包含在排出气体中的反应副产物或未反应的处理气体等。根据应捕获去除的反应副产物等的特性，提出了各种该收集机构的结构。例如，作 为去除能够在常温下冷凝(液化)、凝固(固化)的反应副产物时的收集机构，能够在具有 排出气体的导入口和排出口的壳体内设置许多个翅片而构成。该翅片相对于排出气体的流 动方向依次排列，在排出气体通过这些翅片间时，排出气体中的反应副产物等附着在翅片 表面上，利用这一情况来捕获该反应副产物等。另外，通过利用冷却介质等冷却该翅片，还 提高了捕获效率(例如日本特开2001-214272号公报)。另外，最近，出于降低布线电阻或接触电阻等的目的，也使用包含银、金、钌等金属 的有机金属化合物的原料(源气体)并利用成膜装置形成薄膜。在该情况下，也提出了冷 却排出气体来使气体冷凝等来回收包含未反应的原料的副产物、而且通过纯化该副产物来 得到未反应的原料这样的回收方法(例如日本特开2001-342566号公报)。但是，在上述有机金属化合物中，也存在有像羰基类的有机金属化合物等那样难 以溶解于水中、并且不产生通过原料自身的分解而产生的反应副产物以外的产物这样的反 应形式。在这种情况下，当应用如日本特开2001-342566号公报所公开的包含纯化工序的 回收方法时，整体上工序变得过于复杂。
技术实现思路
本专利技术是着眼于如上所述的问题点、为了有效地解决这个问题点而创造出来的。 本专利技术的目的在于提供在使用相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属 化合物的原料、在被处理体的表面上形成薄膜时、能够简单且容易地回收未反应的原料的 原料回收方法及用于原料回收的收集机构。另外，本专利技术的其他的目的在于提供在使用溶解于特定的溶剂中的有机金属化合物的原料在被处理体的表面上形成薄膜时、能够简单且容易地回收未反应的原料的原料回 收方法及用于原料回收的收集机构。本专利技术提供一种原料回收方法，其从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在 上述处理容器中，使用使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物 的上述原料气化而得到的原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于， 该原料回收方法具有凝固工序，其通过使上述排出气体与上述制冷剂接触而进行冷却，使 未反应的原料气体凝固，并再次析出上述原料；回收工序，其从上述制冷剂中分离并回收在 上述凝固工序中再次析出的上述原料。采用本专利技术，在使用相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化 合物的原料在被处理体的表面上形成薄膜时，通过使排出气体与制冷剂接触而进行冷却， 使未反应的原料气体凝固并作为原料再次析出，从制冷剂中分离该原料，因此能够简单且 容易地回收未反应的原料。优选在上述回收工序中采用过滤上述制冷剂的过滤法或使上述制冷剂蒸发的蒸 发法。另外，优选上述制冷剂为冷却水。或者，本专利技术提供一种原料回收方法，其从由处理容器排出的排出气体中回收原 料，在上述处理容器中，使用使溶解于特定的溶剂中的有机金属化合物的上述原料气化而 得到的原料气体在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于，该原料回收方法具 有溶解工序，其通过使上述排出气体与上述溶剂接触，使未反应的原料气体溶解；回收工 序，其通过使上述溶剂蒸发，使溶解于上述溶剂中的原料再次析出并对其进行回收。采用本专利技术，在使用溶解于特定的溶剂中的有机金属化合物的原料在被处理体的 表面上形成薄膜时，通过使排出气体与溶剂接触来溶解未反应的原料气体，使上述溶剂蒸 发并再次析出原料，因此能够简单且容易地回收未反应的原料。优选上述溶剂由从醇类、链烷类、醚类、芳香族烃构成的组中选择的1个以上的材 料构成。另外，本专利技术提供一种收集机构，其从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在 上述处理容器中，使用使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物 的上述原料气化而得到的原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于， 该收集机构具有凝固单元，其通过使上述排出气体与上述制冷剂接触而进行冷却，使未反 应的原料气体凝固，使上述原料再次析出；过滤回收单元，其通过过滤上述凝固单元内的上 述制冷剂，从上述制冷剂中分离并回收上述再次析出的原料。例如，上述凝固单元采用冷却水作为上述制冷剂。另外，例如，上述凝固单元由从洗气(scrubber)装置、水密封泵装置及鼓泡装置 构成的组中选择的任意1个装置构成。另外，例如，上述过滤回收单元具有循环通路，在其中途设置有循环泵，用于使上 述凝固单元内的包含再次析出的原料的上述制冷剂循环；回收容器，其设在上述循环通路 上，具有通过过滤从上述制冷剂中回收上述再次析出的原料的过滤器。在该情况下，优选以相对于上述循环通路能够选择性地使用的方式并列设有多个 具有上述过滤器的回收容器。另外，本专利技术提供一种收集机构，其从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在 上述处理容器中，使用使溶解于特定的溶剂中的有机金属化合物的上述原料气化而得到的 原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于，该收集机构具有溶解单 元，其通过使上述排出气体与上述溶剂接触，使上述排出气体中的未反应的原料气体溶解 于上述溶剂中；蒸发回收单元，其通过使从上述溶解单元中取出的上述溶剂蒸发，使溶解于 上述溶剂中的上述原料再次析出并对其进行回收。例如，上述溶解单元由从洗气装置、液体密封泵装置及鼓泡装置构成的组中选择 的任意1个装置构成。另外，本专利技术提供一种排气系统，其与处理容器相连接，在上述处理容器中，使用 使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物的原料气化而得到的 原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜薄膜，其特征在于，该排气系统具有排气通路， 其与上述处理容器的排气口相连接；真空泵部，其设在上述排气通路上；具有上述任意特 征的收集机构，其设在上述排气通路上；有害气体去除装置，其设在比上述收集机构靠下游 侧的位置，用于去除上述排出气体中的有害气体。优选在上述收集机构的上游侧设有冷却上述排出气体并对包含在该排出气体中 的未反应的原料气体进行回收的辅助收集机构。在该情况下，优选上述辅助收集机构由低温泵构成。另外，优选还具有设在上述排气通路上的控制上述处理容器内的压力的压力调整阀。另外，本专利技术提供一种成膜装置，其用于对被处理体实施成膜处理，其特征在于， 该成膜装置具有处理容器，其能够真空排气；保持部件，其用本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种原料回收方法，其从由处理容器排出的排出气体中回收原料，在上述处理容器中，使用使相对于特定的制冷剂不分解而具有稳定的特性的有机金属化合物的上述原料气化而得到的原料气体，在被处理体的表面上形成金属膜的薄膜，其特征在于，该原料回收方法具有：凝固工序，通过使上述排出气体与上述制冷剂接触而进行冷却，使未反应的原料气体凝固，并再次析出上述原料；回收工序，其从上述制冷剂中分离并回收在上述凝固工序中再次析出的上述原料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：五味淳，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP