具有机械塌陷保持的预塌陷ＣＭＵＴ制造技术

一种适用于超声ＣＭＵＴ换能器阵列中的ＣＭＵＴ换能器单元包括具有第一电极的膜、具有第二电极的衬底、以及位于所述膜和所述衬底之间的腔室。通过将所述膜偏置到与所述腔室的底面的塌陷状况而在预塌陷状态下操作所述ＣＭＵＴ，并且透镜模铸在塌陷的膜上方。在所述透镜材料聚合或者具有足够刚度时，去除所述偏置电压而所述透镜材料将所述膜保持在塌陷状态。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有机械塌陷保持的预塌陷CMUT本专利技术涉及医学诊断超声成像，并且尤其涉及使用电容式微加工超声换能器 (CMUT)的超声探头。用于医学成像的超声换能器具有导致产生高质量诊断图像的各种特性。其中包括宽的带宽以及在超声频率下对于低水平声学信号的高灵敏度。传统上，具有这些特性并且因而用于超声换能器的压电材料由PZT和PVDF材料制成，其中PZT是最优选的。然而，陶瓷PZT材料需要包括明显不同且复杂的切片(dicing)、匹配层粘结、填料、电镀和互连的制造工序并且需要扩展处理，所有这些会导致小于所期望的换能器堆叠单元产量。而且，这一制造复杂性增加了最终换能器探头的成本。随着超声系统主机(mainframe)变得更小并且主要由现场可编程门阵列(FPGA)和用于多数信号处理功能的软件来控制，系统主机的成本随着系统的尺寸而降低。现在，可获得廉价的便携式、桌面和手持形式的超声系统。结果，换能器探头的成本占系统总成本的百分比日益增长，并且用于3D成像的更高元件计数阵列的出现加速了这一增长。因此，期望能够以提高的产量以及低成本制造换能器阵列，以促进对于低成本超声系统的需求。近来的发展已经导致能够通过半导本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种ＣＭＵＴ换能器单元，包括：衬底；附接到所述衬底的第一电极；以与所述第一电极成间隔关系形成的可移动膜；附接到所述膜的第二电极；以及保持部件，所述保持部件在所述膜处于预塌陷状态时覆盖所述可移动膜，并用于在不存在偏置电压的情况下将所述膜保持在其预塌陷状态。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：P·迪克森，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL