下载具有机械塌陷保持的预塌陷CMUT的技术资料

文档序号:7130964

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一种适用于超声CMUT换能器阵列中的CMUT换能器单元包括具有第一电极的膜、具有第二电极的衬底、以及位于所述膜和所述衬底之间的腔室。通过将所述膜偏置到与所述腔室的底面的塌陷状况而在预塌陷状态下操作所述CMUT,并且透镜模铸在塌陷的膜上方。在...
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