【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种例如用于液晶显示装置的彩色滤光片的曝光方法及该曝光方法中所使用的曝光装置。
技术介绍
液晶显示装置等的显示装置中广泛地使用彩色滤光片来实现彩色图像的显示、反射率的降低、对比度的调整、光谱特征(Spectral characteristics)的控制等目的。彩色滤光片是通过在基板上将着色像素排列成行列状而形成的。例如，作为将这些着色像素形成在基板上的方法，已知有印刷法或光刻法。图7为表示彩色滤光片的像素的放大图，图8为图7所示的彩色滤光片像素的沿 X-X线的剖面图。图7及图8所示的彩色滤光片具备基板50、形成在基板50上的格子状黑色矩阵 21、着色像素22及透明导电膜23。黑色矩阵21具有遮光性，并规定着色像素22在基板50 上的位置，并且使着色像素22的尺寸均勻一致。此外，黑色矩阵21具有如此功能当将彩色滤光片使用于显示装置时，将不需要的光遮蔽，并实现高对比且没有不均现象的均勻画质。着色像素22发挥再现各颜色的滤光片(filter)的作用。要形成彩色滤光片，首先，将黑色光阻剂涂布在基板50上，通过光掩膜曝光后进行显影，形成黑色矩阵21。接着，将...
【技术保护点】
１．一种曝光方法，是在同一基板上的第１区域及第２区域中形成互不相同的光阻图案的曝光方法，其特征在于：将具有用于将上述第１区域内的光阻图案的一部分曝光的第１掩膜图案、及用于将上述第２区域内的光阻图案的一部分曝光的第２掩膜图案的光掩膜相对于光源固定，一边搬运上述基板，一边选择性地将来自上述光源的光照射上述第１掩膜图案，将上述第１区域上的光阻剂连续或间歇地曝光，一边搬运上述基板，一边选择性地将来自上述光源的光照射上述第２掩膜图案，将上述第２区域上的光阻剂连续或间歇地曝光。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。