下载曝光方法、彩色滤光片的制造方法及曝光装置的技术资料

文档序号:7129025

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种曝光方法、彩色滤光片的制造方法及曝光装置,该曝光方法中,当使用设有多个掩膜图案的光掩膜进行曝光时,不需要将光掩膜移动到曝光装置的照射区域,便能在基板上的不同区域将与形成各个不同的彩色滤光片相对应的各掩膜图案曝光。将具有用于将构...
该专利属于凸版印刷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过凸版印刷株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。