【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置。
技术介绍
激光调阻，是一种修调电阻阻值的工艺。其原理是当高功率激光光束撞击厚膜或薄膜电阻材料表面时，光束撞击处的电阻材料介质气化，使电阻阻值升高。激光调阻机就是利用此原理，对电阻进行修调，得到符合阻值精度要求的电阻的装置。现有技术中，激光调阻机在使用时，都是将PC机作为激光调阻机主机。PC主机上安装有激光调阻机的光点定位及扫描控制驱动程序及硬件控制电路。PC主机通过软件程序及硬件控制电路，实现对激光调阻机的激光扫描头的控制。但是，目前主机操作系统大多为Windows 2000和Windows XP,属于多进程操作系统。当主机在运行激光调阻应用程序时，同时会运行操作系统程序。由于系统资源动态变化和系统程序设置自动化(例如执行自动备份程序等)，往往在执行光点定位及扫描控制驱动程序时，会出现激光调阻应用程序运行不连续或停顿，造成激光扫描时快时慢(非线性， 特别是当系统有多个应用程序执行时，激光扫描明显变慢和不稳定)。与此同时，由于采用软件驱动程序，也使得激光扫描速度降低，最终表现为激...
【技术保护点】
１．一种激光调阻机光点定位及扫描控制装置，其特征在于，包括：第一方向激光光点定位及扫描控制电路、第二方向激光光点定位及扫描控制电路、外部ＥＳＴ总线连线及通用阵列逻辑器件；所述第二方向垂直于所述第一方向；所述第一方向激光光点定位及扫描控制电路，用于控制激光调阻机的激光扫描头进行第一方向上的光点定位及扫描；所述第二方向激光光点定位及扫描控制电路，用于控制激光调阻机的激光扫描头进行第二方向上的光点定位及扫描；所述第一方向激光光点定位及扫描控制电路、第二方向激光光点定位及扫描控制电路，通过所述外部ＥＳＴ总线连线及通用阵列逻辑器件与激光调阻机的ＣＰＵ控制单元相连。
【技术特征摘要】
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