本发明专利技术公开一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置，包括：第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路；第一方向激光控制电路，与脉冲输出电路相连，用于控制激光在第一方向上的脉冲输出；第二方向激光控制电路，与脉冲输出电路相连，用于控制激光在第二方向上的脉冲输出；时钟信号发生电路分别与第一方向激光控制电路和第二方向激光控制电路相连，为第一方向激光控制电路和第二方向激光控制电路提供时钟信号。本发明专利技术所公开的激光调阻控制装置，采用硬件电路实现了对激光调阻机的阻值修调过程的控制，不再依赖于计算机等的操作系统，提高了激光调阻机的测量电阻的效率。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制造设备领域，特别是涉及一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置。
技术介绍
激光调阻原理是利用高能激光脉冲烧蚀电阻器表面电阻材料，使电阻阻值升到标称阻值及精度范围。所以对激光的控制，关系到被修调电阻的精度、激光切槽质量及激光修阻效率。一般而言，对激光控制主要包括激光开闭控制和激光定位扫描的控制。其中激光开闭控制由电阻测量精度判断及切口限止长度逻辑控制；激光扫描的控制主要是激光脉冲率即每秒内激光的脉冲数(Q_RATE)、激光吃进尺寸即相邻激光光斑之间的距离(BITE_ SIZE)、激光切刀方式等控制。激光Q_RATE、激光BITE_SIZE决定激光扫描速度及切槽质量。现有技术中，激光调阻机对激光调阻过程的控制是由PC主机运行电阻测试设备及PC扩展卡设备驱动软件实现的，由于无法做到硬件同步，故采用“开始-停止-测量”调阻模式。具体的，主机通过IO扩展卡向Q驱动器的EXT. TRG端输入高电平或低电平信号来控制激光的开闭。在激光调阻时对激光开闭的控制一般基于两种情况，一是阻值是否已达到要求的阻值或精度，若未达到则开启激光脉冲；若已达到则关闭激光。二是切割线长度是否超过定义的限止长度，若未超过则继续激光；否则停止激光。由于现有调阻机电阻的测量是通过主机与电阻测量仪建立通讯并运行其外设驱动程序执行测量命令而进行的。与此同时，对Q开关的控制也通过IO扩展卡及其驱动程序执行而进行。多进程操作系统环境下，当主机在运行激光调阻应用程序时，由于系统资源动态变化，往往在执行激光调阻扫描程序时，还会运行其他程序，导致激光Q_RATE较低，还会出现激光扫描时快时慢(Q_RATEt和BITE_SIZE非线性)的现象。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置，能够提高激光调阻机的修调电阻的效率。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案—种用于激光调阻机的激光调阻控制装置，包括第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路；所述第一方向激光控制电路，与所述脉冲输出电路相连，用于控制激光在第一方向上的脉冲输出；所述第二方向激光控制电路，与所述脉冲输出电路相连，用于控制激光在第二方向上的脉冲输出；所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述时钟信号发生电路分别与所述第一方向激光控制电路和所述第二方向激光控制电路相连，为所述第一方向激光控制电路和所述第二方向激光控制电路提供时钟信号。优选的，所述第一方向激光控制电路包括第一方向目标长度生成器、第一方向吃进尺寸生成器和第一方向脉冲率生成器。优选的，所述第二方向激光控制电路包括第二方向目标长度生成器、第二方向吃进尺寸生成器和第二方向脉冲率生成器。优选的，所述时钟信号发生电路包括2MHz时钟发生器。优选的，所述脉冲输出电路包括测量同步脉冲输出电路和激光脉冲输出电路。根据本专利技术提供的具体实施例，本专利技术公开了以下技术效果本专利技术所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置，采用第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路等硬件电路，实现了对激光调阻机的阻值修调过程的控制，使得本专利技术所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置，不再依赖于计算机等的操作系统，提高了激光调阻机的测量电阻的效率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置结构图；图2为激光调阻控制装置第一部分电路图；图3为激光调阻控制装置第二部分电路图；图4为激光调阻控制装置第三部分电路图；图5为激光调阻控制装置第四部分电路图；图6为激光调阻控制装置第五部分电路图；图7为脉冲输出电路图；图8为复位电路电路图。具体实施例方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。图1为本专利技术所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置结构图。如图1所示，该装置包括第一方向激光控制电路101、第二方向激光控制电路102、时钟信号发生电路100和脉冲输出电路103 ；所述第一方向激光控制电路101，与所述脉冲输出电路103相连，用于控制激光在第一方向上的脉冲输出；所述第二方向激光控制电路102，与所述脉冲输出电路103相连， 用于控制激光在第二方向上的脉冲输出；所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述时钟信号发生电路100分别与所述第一方向激光控制电路101和所述第二方向激光控制电路 102相连，为所述第一方向激光控制电路101和所述第二方向激光控制电路102提供时钟信本专利技术所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置，采用第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路等硬件电路，实现了对激光调阻机的阻值修调过程的控制，使得本专利技术所公开的用于激光调阻机的激光调阻控制装置，不再依赖于计算机等的操作系统，提高了激光调阻机的测量电阻的效率。具体的，所述第一方向激光控制电路101可以包括第一方向目标长度生成器、第一方向吃进尺寸(BITE_SIZE)生成器和第一方向脉冲率(Q_RATE)生成器。所述第二方向激光控制电路102可以包括第二方向目标长度生成器、第二方向吃进尺寸生成器和第二方向脉冲率生成器。所述时钟信号发生电路100可以包括2MHz时钟发生器。所述脉冲输出电路103可以包括测量同步脉冲输出电路和激光脉冲输出电路。下面结合附图按功能说明其原理图2为激光调阻控制装置第一部分电路图；图3为激光调阻控制装置第二部分电路图；图4为激光调阻控制装置第三部分电路图；图5为激光调阻控制装置第四部分电路图；图6为激光调阻控制装置第五部分电路图。图3构成2MHz时钟发生器。如图3所示，由555时基电路Ul及Rl、R2、Cl和C2 组成2MHz方波振荡器，其产生的方波信号提供时钟给BCUX及BCUY (第一向激光控制单元和第二向激光控制单元，下文中称为X向激光控制单元和Y向激光控制单元)电路，以产生 Q_RATE、BITE_SIZE、切割目标长度计数和电阻测试同步信号。其中，U1_PIN3为方波输出端； U1.PIN4为振荡器开关控制端。激光控制单元(BCUX、BCUY)主要由命令控制寄存器、可编程计数定时器和激光调阻逻辑阵列器件组成。命令控制寄存器U101和U201。其中UlOl为X向命令控制寄存器，U201为Y向命令控制寄存器。命令数据格式为D8 C0UNTER0 门控 GATEO 控制位，D8 = 1 时有效D9 C0UNTER2 门控 GATE2 控制位，D9 = 1 时有效DlO C0UNTER1门控GATEl控制位(结合组合控制逻辑)，DlO = 1时有效Dll PENDING扩展本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种用于激光调阻机的激光调阻控制装置，其特征在于，包括：第一方向激光控制电路、第二方向激光控制电路、时钟信号发生电路和脉冲输出电路；所述第一方向激光控制电路，与所述脉冲输出电路相连，用于控制激光在第一方向上的脉冲输出；所述第二方向激光控制电路，与所述脉冲输出电路相连，用于控制激光在第二方向上的脉冲输出；所述第一方向与所述第二方向相互垂直；所述时钟信号发生电路分别与所述第一方向激光控制电路和所述第二方向激光控制电路相连，为所述第一方向激光控制电路和所述第二方向激光控制电路提供时钟信号。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈玉良，
申请(专利权)人：沈玉良，
类型：发明
国别省市：32
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