【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光调阻
，尤其涉及一种使用过程中不易变形、稳定、可靠的激光调阻机。
技术介绍
激光调阻工艺已经成熟应用在厚膜、薄膜及半导体电路中，现今由于人们对器件的微型化要求越来越高甚至到苛刻的地步，电路的微型化要求也越来越高，在一些精密的厚、薄膜电路以及一些半导体电路中，对精密激光调阻机有着相当高的要求，而且这些电路的工艺只有激光调阻才能解决。除了基本的测量精度外，对产品的运动精度及定位精度要求也非常的高。由于激光调阻加工时激光器分步动作控制系统需要重复运动、探针需要重复升降，而且对运动效率要求非常高，整个高速运动对基台会产生一定的反作用力，这对加工产品位置会有一定的影响，另外传统的金属材料基台由于热账冷缩因素，随着温度的变化，台面也会有微量的变形，上述因素的影响对产品定位精度会造成大于IOum以上的误差，这对于要求极高的精密调阻加工位置精度来说都是不允许的，所以精密激光调阻机对整个基台稳定性非常重要。
技术实现思路
本技术主要是针对现有技术所存在的上述技术问题，提供一种使用过程中不易变形、稳定、可靠的激光调阻机。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以...
【技术保护点】
一种激光调阻机，其特征在于：包括安装有计算机和控制电路的机体（1），所述机体（1）上安装有基台（2），所述基台（2）上安装有激光器系统（3），所述基台（2）由大理石制成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何成鹏，程燕争，陈丽芳，
申请(专利权)人：武汉三工精密制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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