晶舟运输底座制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶舟运输底座。这种晶舟运输底座，用于载运晶舟，其包括载物板，所述载物板上设有若干对用于夹持所述晶舟的弹性挡板组件。本实用新型专利技术晶舟运输底座，结构简单，使用方便，通过在载物板上增设若干对弹性挡板组件来夹持晶舟，避免在运输过程中晶舟和载物板之间产生位移，从而防止两者之间因摩擦产生大量颗粒物质，从而可以避免颗粒物质污染工艺车间，确保工艺的稳定性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶舟运输底座。
技术介绍
目前，在半导体生产车间内，需要很多手推车用来运送晶舟，所述手推车上设有用于载放晶舟的晶舟运输底座。所述晶舟是一种用于储存和运输晶圆的装置，通常采用晶舟将晶圆运输到各个工艺设备的腔室内。如图1所示是现有的用于输送晶舟的手推车，由该图1可见，在使用手推车运送晶舟1时，晶舟1直接放置在手推车的晶舟运输底座上，所述晶舟运输底座包括一载物板2，该载物板2的四周设有围栏板，该载物板2的下方设有滚轮5，以方便手推车滚动。在使用中，由于晶舟1在载物板2进行固定，以致在运输过程中容易发生位移，从而使得晶舟1和载物板2之间摩擦产生大量颗粒物质。这些颗粒物质会漂浮到车间的空气中，当晶舟1打开时，这些颗粒物质容易粘附到晶圆上，使得晶圆良率下降。因此，如何提供一种可以将晶舟固定在载物板上以防止两者之间摩擦产生颗粒物质的晶舟运输底座，是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶舟运输底座，通过在载物板上增设若干对弹性挡板组件来夹持晶舟，避免晶舟和载物板之间产生位移，从而防止两者之间因摩擦产生大量颗粒物质。为了达到上述的目的，本技术采用如下本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种晶舟运输底座，用于载运晶舟，其包括载物板，其特征在于，所述载物板上设有若干对用于夹持所述晶舟的弹性挡板组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许亮，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31