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本实用新型涉及一种晶舟运输底座。这种晶舟运输底座，用于载运晶舟，其包括载物板，所述载物板上设有若干对用于夹持所述晶舟的弹性挡板组件。本实用新型晶舟运输底座，结构简单，使用方便，通过在载物板上增设若干对弹性挡板组件来夹持晶舟，避免在运输过程中...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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