使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统技术方案

本发明专利技术涉及一种使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统。提供了一种使用制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据管理所述制造环境的解决方案。所述运行数据可包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的实际资源消耗数据和/或实际排放产生数据。所述制造环境的运行可以被配置为优化以下方面中的一个或多个方面：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间的资源消耗和/或排放产生。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般地涉及管理制造环境，具体地说，涉及使用制造环境中每种工具的诸如化学原料和/或动力消耗数据之类的运行数据管理制造环境。
技术介绍
在诸如集成电路制造厂之类的工厂中，一些在生产工艺中使用的工具包括诸如质流控制器、流量计或光谱仪之类的检测设备，用于在使用工具制造诸如集成电路之类的产品期间监视工具处理室内的化学原料消耗。可以分析化学原料消耗模式以指示何时进入生产工艺的下一步。备选地，工艺可以在一段预定时间之后进入下一步。此外，有关各种资源消耗的数据可以输出到本地数据库进行处理，例如针对工具运行进行的统计分析和故障检测。对于在工厂范围内监视资源消耗，例如，预测原料(如，化学原料)的使用和需求， 目前的方法是评估与以下项有关的信息原料库中可用的原料量、用于执行多个处方中的每个处方的原料量、以及根据工厂工艺进度预测的原料需求。可以根据模拟的工厂原料消耗生成预测的需求，并且可通过依据先前预测的消耗评估工厂的实际消耗并在必要时修改未来预测来随时间而改进预测的需求。
技术实现思路
专利技术人认识到在当前的制造环境中，在工具级别考虑资源消耗(例如化学原料输入和动力消耗)以及排放产生(例如化学品本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种管理制造环境的计算机实现的方法，所述方法包括：在计算机系统上获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及使用所述计算机系统配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：B·C·巴克，E·P·希金斯，R·L·克莱因亨兹，G·R·莫尔，M·L·列，J·W·王，H·齐斯根，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US