【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电极结构，具体为石英玻璃坩埚的电极结构。
技术介绍
根据旋转模具法生产石英玻璃坩埚的工艺是这样的存放在旋转模具内的石英砂粉末通过电弧放电加热和熔化，生产出石英玻璃坩埚，坩埚内侧为透明石英玻璃层，外侧为不透明层，对于传统的形成电弧放电的电极结构，设置有三个电极，三相交流电流过所述三个电极，在电极之间形成等离子电弧放电。目前，硅单晶生产中对石英坩埚直径的要求越来越大，而这种传电极结构的缺点暴露的也更加明显当电极之间的距离增加以便扩大加热范围时，电弧变得不稳定而中断， 尤其是，对于大尺寸坩埚，由于模具转动在坩埚内造成气流的影响较大，所以传统的电极结构的电弧很容易中断。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供石英玻璃坩埚的电极结构，使其即使在电极之间距离增加的情况下也可以保持电弧的稳定，从而解决上述
技术介绍
中的缺点。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现石英玻璃坩埚的电极结构，包括旋转模具和安装在旋转模具上方的若干电极，与传统电极结构的显著区别特征在于，所述电极间隔排列在以旋转模具旋转轴线为中心的环状结构上，各相邻电极之间的间距均相等。本技术中，所述环状结构的圆半径r与所述旋转模具的开口半径R之比为 2/5-4/5。本技术中，所述电极至少为四个。本技术，所述电极可具有二相交流电的四个电极、三相交流电的六个电极、三相交流电的九个电极或四相交流电的八个电极。有益效果本技术结构简单，电极之间可以形成环状电弧，电弧稳定且具有很大加热范围，即使在生产大口径坩埚、电极之间的距离较大的情况下，电弧的稳定性同样良好。附图说明图1为本技术实施例的示意图。图2为本技...
【技术保护点】
１．石英玻璃坩埚的电极结构，包括旋转模具和安装在旋转模具上方的若干电极，其特征在于：所述电极排列在以旋转模具旋转轴线为中心的环状结构上，各相邻电极之间的间距均相等。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘绍勤，林方友，黄万全，董建安，刘奏波，上官春水，陈少永，余献军，陈官元，
申请(专利权)人：江西安迈科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36
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