平面叉指电极结构的电化学惯性传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，属于惯性传感技术领域。包括叉指电极板、敏感液体、U型壳体、弹性橡胶膜及检测电路。所述叉指电极板为表面对称排列有两对叉指电极的绝缘平板，叉指电极作为电化学反应的两对阴/阳电极；所述敏感液体为溶液离子在阴/阳电极间发生可逆氧化/还原反应的电解液。所述U型壳体与叉指电极板共同组成敏感液体的流道，流道两端被弹性橡胶膜密封，敏感液体在外部惯性力作用下相对叉指电极表面流动。优点在于：结构简单、制作方便、成本低廉、可批量生产，应用范围广，实用性强。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及惯性传感
，特别涉及一种平面叉指电极结构的电化学惯性传感器。
技术介绍
惯性传感器是检测加速度、倾斜、冲击、振动、旋转和多自由度运动的传感器，包括直线和角加速度传感器，在导航定位、运动控制、及振动测量等领域有着重要的应用。惯性传感器一直是各国惯性
的研究重点,尤其是各种新材料、新技术在惯性传感器中的使用。质量-弹簧-阻尼谐振系统是最简单和常用的惯性测量系统，通过合适的机电换能装置将惯性质量体相对固定框架的位移、速度及加速度转化为可测量的电压或电流，即可获得被测物的惯性量。电化学惯性传感器采用液体作为质量体，通过测量敏感液体内离子的电荷迁移变化来表征敏感液体与固定电极间的相对运动。电化学惯性传感器通常采用四电极结构，四支惰性金属电极被放置在充满可逆氧化还原反应的敏感液体流道中，电极之间由绝缘网隔开，如图1所示，敏感液体可以在管道中自由运动，在小幅度直流电流作用下，阴阳电极之间会形成离子浓度梯度。当敏感液体在外界惯性力的作用下在管道内移动时，溶液中的离子在阴极和阳极之间发生迁移，与敏感液体运动成比例的附加电流就会流向电极，图2为电化学惯性传感器电路原理示意图，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，其特征在于：包括叉指电极板、敏感液体、U型壳体（2）、弹性橡胶膜（3）及检测电路，所述叉指电极板由基板（6）和印刷在其上的叉指电极（1）组成，所述的叉指电极板安装在U型壳体（2）的下表面，所述U型壳体（2）与叉指电极板共同组成敏感液体的流道，流道两端通过弹性橡胶膜（3）密封，敏感液体在外部惯性力作用下相对叉指电极（1）表面流动，导致与惯性力相对应的阴/阳极电流发生变化，电流信号经检测电路差分放大后转为电压信号输出。

【技术特征摘要】
1.一种平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，其特征在于：包括叉指电极板、敏感液体、U型壳体（2）、弹性橡胶膜（3）及检测电路，所述叉指电极板由基板（6）和印刷在其上的叉指电极（1）组成，所述的叉指电极板安装在U型壳体（2）的下表面，所述U型壳体（2）与叉指电极板共同组成敏感液体的流道，流道两端通过弹性橡胶膜（3）密封，敏感液体在外部惯性力作用下相对叉指电极（1）表面流动，导致与惯性力相对应的阴/阳极电流发生变化，电流信号经检测电路差分放大后转为电压信号输出。2.根据权利要求1所述的平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，其特征在于：所述的敏感液体为能在阴/阳电极间发生自身可逆氧化/还原反应的电解液。3.根据权利要求2所述的平面叉指电极结构的电化学惯性传感器，其特征在于：所述的能在阴/阳电极间发生自身可逆氧化/还原反应的电解液为碘/碘离子溶液、溴/溴离子溶液、 硫酸根/亚硫酸根离子溶液或二价铁离子/三价铁离子溶液。4.根据权利要求1所述的平面叉指...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨大鹏，徐慧仪，周晓华，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：新型
国别省市：吉林;22