【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氮气流量调节装置，具体为一种用于制造石英坩埚中的氮气流量自动调节装置。
技术介绍
在石英坩埚的制造过程中，往石英坩埚生产装置内充入氮气可以保护石墨模具本体，提高模具的使用率，还可以减少坩埚内壁气泡的发生，从而提高产品的品质。目前普遍应用的氮气流量调节装置多由III型仪表组成，该种配置仅适用于一种压力下的流量调节，而且流量调节非常不稳定，不能满足使用工艺要求，所以均在管道上增加一手动截止阀，需要手动调节。其存在的缺点包括1、操作不便，工艺过程调节次数多；2、 不能及时观测石英坩埚生产装置内部压力并实时做出相应调控；3、工艺操作的随机性大， 人为因素影响较大。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供石英坩埚的自动调节装置，使之能够实时监测石英坩埚生产装置内部压力，并依据压力对氮气流量做出合理的自动调节，从而解决上述
技术介绍
中的缺点。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现石英坩埚的自动调节装置，包括控制装置、充氮装置本体、压力传感器、流量调节装置和石英坩埚生产装置，所述充氮装置本体与所述石英坩埚生产装置相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述石英坩埚生产装置内。本技术中，所述控制装置为CPU，可以接收压力传感器采集的压力数据，在显示屏上显示，并对数据进行处理，做出调控信号，根据信号对所述流量调节装置进行调控。本技术中，所述流量调节装置为多组电磁阀、单向阀和减压阀的组合，可以对充氮装置本体的氮气输出速度进行调节。有益效果本技术结构简单，操作方便...
【技术保护点】
１．石英坩埚的自动调节装置，包括控制装置、充氮装置本体、压力传感器、流量调节装置和石英坩埚生产装置，其特征在于：所述充氮装置本体与所述石英坩埚生产装置相连的管道上设置所述流量调节装置，该流量调节装置与所述控制装置的信号输出端连接，所述控制装置的信号输入端连接所述压力传感器，该压力传感器安装在所述石英坩埚生产装置内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘绍勤，林方友，黄万全，董建安，刘奏波，上官春水，陈少永，余献军，陈官元，
申请(专利权)人：江西安迈科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36
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