【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．晶圆处理装置，其特征在于，包括，槽体，其包括一本体及槽盖，形成密封结构；本体内还设一药水槽；晶圆夹具，放置于本体内的药水槽内，晶圆夹具夹持带微孔的晶圆；搅拌件及其驱动机构，搅拌件设置于晶圆微孔面一侧；一真空泵，通过一抽气管连接于槽体。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。