裂片机的机头防卡结构及防卡裂片机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种裂片机的机头防卡结构及防卡裂片机，涉及一种对半导体晶片进行裂片的裂片机，用于解决由于弹簧卡入电磁线圈的孔中而影响生产的问题。该防卡结构包括电磁线圈体，电磁线圈体上有孔，电磁线圈体的孔中穿有一中轴，在中轴上套有弹簧，弹簧位于电磁线圈体的孔的孔口上面；在所述电磁线圈体的孔的孔口处、所述弹簧的下部设有限制弹簧摆动的限位结构，该限位结构包括外包围弹簧的下部的外限位结构或者在弹簧和所述中轴之间设置垫物的内限位结构。应用本实用新型专利技术技术的裂片机的裂片效果好，效率有显著提高。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种对半导体晶片进行裂片的裂片机，特别是涉及裂片机的工作头部分。
技术介绍
半导体晶片生产的后序工序需要用到裂片机对圆片之类的大片进行裂片切割。参看图ι所示，为一种现有的半导体晶片的裂片机的机头结构。该结构显示，电磁线圈体002 通过固定件003固定在机身上，固定件003通过套环004夹紧电磁线圈体002。电线006由电磁线圈体002的上端引出。电磁线圈体002的中间有孔008，孔008中置有中轴005，中轴005的下部连接力锤001。中轴005的上部套有弹簧007。具有上述结构的裂片机在工作的时候，电磁线圈通过通电和断电来控制中轴的上下运动，以带动力锤上下运动。弹簧007提供中轴的回复力，使中轴趋向恢复到原始位置。 该结构存在一个问题就是，由于弹簧的下部并没有固定，其在工作的过程中会发生如图所示的偏移摆动，这样经常导致中轴受到弹簧过大的摩擦阻力，以及弹簧的下部的端头卡入孔008中，造成中轴无法上升，而当通电向下加速时，又造成速度不够，致裂片力度和深度不够而造成裂片失败。为了保证裂片效果，需要针对该结构经常检查调整弹簧状态从而造成生产效率低下。
技术实现思路
本技术所要解决的第一个技术问题是提供一种裂片机的机头防卡结构，用于解决由于弹簧卡入电磁线圈的孔中而影响生产的问题。本技术所要解决的第二个技术问题是提供一种防卡裂片机，用于解决由于弹簧卡入电磁线圈的孔中而影响生产的问题。为了解决上述的第一个技术问题，本技术提出一种裂片机的机头防卡结构， 包括电磁线圈体，电磁线圈体上有孔，电磁线圈体的孔中穿有一中轴，在中轴上套有弹簧， 弹簧位于电磁线圈体的孔的孔口上面；在所述电磁线圈体的孔的孔口处、所述弹簧的下部设有限制弹簧摆动的限位结构，该限位结构包括外包围弹簧的下部的外限位结构或者在弹簧和所述中轴之间设置垫物的内限位结构。优选地所述外限位结构包括在所述孔的孔口处设有定位圈，定位圈套在弹簧外围，限制弹簧摆动。优选地所述定位圈上设有线孔。优选地所述定位圈的高度不高于所述弹簧处于最大压缩状态时的高度。弹簧处于最大压缩状态时，每一圈弹簧中间没有间隙，弹簧圈紧挨在一起的长度为弹簧处于最大压缩状态时的高度。优选地所述定位圈粘接、焊接或通过螺钉固定在电磁线圈体上。优选地所述外限位结构包括在所述孔的孔口处、设在所述中轴上的环槽，所述弹簧的下部置于该环槽内。优选地所述内限位结构包括设置在所述弹簧和所述中轴之间的内衬环，该内衬环固定在所述电磁线圈体上。优选地所述中轴包括对所述弹簧的上部进行限位的顶部，该顶部上面设有角体， 该角体固定在裂片机上，保持与所述电磁线圈体固定的高度，对所述中轴的上行高度进行限位。优选地所述中轴包括对所述弹簧的上部进行限位的顶部，该顶部上面设有对所述中轴的上行高度进行限位的限位装置，该装置包括支架和螺栓，支架包括设在所述顶部的螺栓座和用于支撑螺栓座的支撑体，所述螺栓穿过螺栓座，螺栓螺纹端的端面顶住所述顶部。为了解决上述的第二个技术问题，本技术提出一种防卡裂片机，该裂片机包括一种裂片机的机头防卡结构，该结构包括电磁线圈体，电磁线圈体上有孔，电磁线圈体的孔中穿有一中轴，在中轴上套有弹簧，弹簧位于电磁线圈体的孔的孔口上面；在所述电磁线圈体的孔的孔口处、所述弹簧的下部设有限制弹簧摆动的限位结构，该限位结构包括外包围弹簧的下部的外限位结构或者在弹簧和所述中轴之间设置垫物的内限位结构。本技术的有益效果相比现有技术，本技术在弹簧的下部增加了对弹簧下部限位的限位结构，这种限位结构可以阻止弹簧下部左右摆动，从而使弹簧在工作过程中不会接触到中轴，弹簧的下部的端头也不会卡入电磁线圈体的孔内造成严重的中轴运动受阻的问题。经过使用， 具有该结构的裂片机，可以不需要人工对中轴上的弹簧进行间断性的调整，也不需要人工进行监控，其可以明显提高生产效率和提高设备的稳定性。而且由于在工作过程中，弹簧基本上不接触中轴，使得中轴工作过程中无干扰的不可控外力，作用到圆片上的力可根据需要进行调整，裂片效果好，效率有显著提高。附图说明图1是现有技术的结构图。图2是实施例一的结构示意图。图3是实施例二的结构示意图。图4是裂片机工作过程示意图。图5是实施例二的第一种改造的结构图。图6是实施例二的第二种改造的结构图。图7是实施例三的结构示意图。图中标识说明力锤001、电磁线圈体002、固定件003、套环004、中轴005、电线006、弹簧007、孔 008 ；力锤101、电磁线圈体102、固定件103、套环104、中轴105、电线106、弹簧107、孔 108、定位圈109、刀头110、顶部111、限位槽体112、晶片113、支撑体114、角体115、螺钉 116、限位边117、固定边118、高度调节孔1180、螺栓119、支架120、螺栓座121、支撑体122 ；中轴201、弹簧 202、环槽 203、孔 204 ；4中轴301、弹簧302、内衬环303、电磁线圈体304。具体实施方式本技术提出一种防卡裂片机，该裂片机的机头具有防卡结构。该防卡结构包括电磁线圈体，电磁线圈体上有孔，电磁线圈体的孔中穿有一中轴，在中轴上套有弹簧，弹簧位于电磁线圈体的孔的孔口上面；在电磁线圈体的孔的孔口处、弹簧的下部设有限制弹簧摆动的限位结构，该限位结构包括外包围弹簧的下部的外限位结构或者在弹簧和中轴之间设置垫物的内限位结构。本技术的结构实施例一如图3所示，电磁线圈体102上有孔108，电磁线圈体 102的孔108中穿有一中轴105，在中轴105上套有弹簧107，弹簧107位于电磁线圈体102 的孔108的孔口上面。在电磁线圈体102的孔108的孔口处、弹簧107的下部设有限制弹簧摆动的定位圈109，定位圈109套在弹簧107外围，限制弹簧摆动。在定位圈109上设有供电线106穿过的线孔。定位圈109的高度不高于弹簧107处于最大压缩状态时的高度。 弹簧处于最大压缩状态时，每一圈弹簧中间没有间隙，弹簧圈紧挨在一起的长度为弹簧处于最大压缩状态时的高度。定位圈109可以粘接、焊接或通过螺钉固定在电磁线圈体102 上。力锤101位于中轴105的底部。在电磁线圈体102的外面套有套环104，套环104 通过固定件103固定在裂片机上。弹簧107的上端顶在顶部111上。力锤111下方设置有刀头110。参看图4所示，待裂片的晶片113放置在支撑台114上，刀头110的下部穿过限位槽体112对准晶片113预设的位置，力锤101在电磁线圈通断电的行为下，对刀头进行施力和力锤归位动作。其中力锤的归位是由弹簧恢复力作用下的结果。该结构的裂片机在工作的时候，由于定位圈对弹簧的四周限制，弹簧不会发生摆动，即弹簧不会触碰中轴而产生摩擦，弹簧的下端头更不会偶发插入孔内造成故障。结合上述结构的两种改进方案，参看图5所示为改进一。在顶部111上面安装一个角体115，角体115为角钢或塑料材质等均可。角体115 为直角(也可以不是直角)，其包括限位边117和固定边118，限位边117置于顶部111上， 固定边118通过螺钉116使角体固定在裂片机上，在固定边118上有高度调节孔1180。这种结构用于调整中轴的高度和弹簧107的弹力状态。通常这种情况，在不本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种裂片机的机头防卡结构，包括电磁线圈体，电磁线圈体上有孔，电磁线圈体的孔中穿有一中轴，在中轴上套有弹簧，弹簧位于电磁线圈体的孔的孔口上面；其特征在于：在所述电磁线圈体的孔的孔口处、所述弹簧的下部设有限制弹簧摆动的限位结构，该限位结构包括外包围弹簧的下部的外限位结构或者在弹簧和所述中轴之间设置垫物的内限位结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾宇行，
申请(专利权)人：晶能光电江西有限公司，
类型：实用新型
国别省市：36