光罩传送方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。本发明专利技术在取板抓手的安全顶针前端安装传感器，探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，在安全顶针与光罩锁轮凹槽接触时停止传送并发出警报，解决了安全顶针与光罩锁轮凹槽接触发生摩擦产生铁屑的问题，有效地避免了光罩传送时铁屑对光罩的污染，减少了废品的产生，极大的节约了成本。

【技术实现步骤摘要】
光罩传送方法及装置
本专利技术涉及一种半导体制造工艺，尤其涉及一种半导体制造工艺中光罩的传送方 法及装置
技术介绍
曝光机在对晶圆曝光时需要晶圆和光罩，光罩的传送主要依靠机械手臂(ARMS) 来完成。机械手臂主要有三个光罩台(Library)以及高低两个取板抓手(Gripper)组成。 光罩台用来升降光罩仓(INDEX)以便于取板抓手进入光罩仓取走光罩，将光罩从光罩台传 送到曝光时光罩所在的位置。光罩台具有一个光罩锁轮(Locking disk)，用来调整光罩仓 升降的高度。图1是取板抓手结构示意图。取板抓手包括安全顶针10、支架12以及光罩支撑 14。安全顶针10用来探测取板抓手进入光罩仓的位置。图2是光罩锁轮结构示意图。光罩锁轮上有六个大小一样的凹槽20，用来限定取 板抓手进入光罩仓夹取光罩的位置，保护光罩不被划伤。取板抓手取走光罩时，沿着光罩锁轮凹槽20方向进入光罩仓，安全顶针10垂直伸 进凹槽20中。机械手臂传送光罩时，光罩锁轮是可以调整的，它的限位螺丝不是固定不动的。光 罩台不停升降过程中，光罩锁轮也在不停地转动。随着曝光机使用时间的增长，曝光机位置 将发生偏移，从而导致光本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；在安全顶针与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宣胤杰，张贤识，梁孙欢，
申请(专利权)人：无锡华润上华半导体有限公司，无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32