温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。本发明在取板抓手...该专利属于无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司授权不得商用。