【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种使用剧毒危险品高纯度三氯氧磷时所用的鼓泡装置。
技术介绍
高纯度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前在高纯度三氯氧磷使用时主要是直接使用石英源桶通入高纯氮气，利用高纯氮气作为载气将三氯氧磷带出，其缺点是不安全、不可靠、容易泄漏而污染环境、经常爆桶造成财产损失和人员伤亡。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种结构简单、安全可靠、无泄漏、无污染、抗压性好、不易破碎、无满桶风险、使用时出料连续稳定的高纯度三氯氧磷鼓泡桶。本技术的目的是这样实现的桶体用特氟龙材质制成，桶体顶部排列有插入桶体底部的氮气入口管、加料管、插入桶体内的回料管和鼓泡出口管。桶体顶部有插入桶体底部的温度测量管。桶体顶部有液位观察口。由于本技术采用上述结构，该装置结构简单，使用安全可靠，无泄漏、鼓泡均勻，三氯氧磷的消耗量与加入量平衡，不需更换鼓泡桶，可保证连续稳定的...
【技术保护点】
１．一种高纯度三氯氧磷鼓泡桶，其特征是：桶体用特氟龙材质制成，桶体顶部排列有插入桶体底部的氮气入口管、加料管、插入桶体内的回料管和鼓泡出口管。
【技术特征摘要】
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