校准标记及制造方法技术

本发明专利技术公开了一种校准标记，可将整片金属铜层或方阵排列金属铜层运用在校准标记的背景，也可将整片金属铜层或方阵排列金属铜层运用在校准标记的主体样式。同时，本发明专利技术还公开了一种校准标记制造方法，采用本发明专利技术公开的校准标记与制造方法能够有效提升液晶显示器驱动IC与面板压合的对准辨识成功率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种校准标记与制造方法，且特别涉及一种在半导体元件的校准标记与制造方法。
技术介绍
在制造半导体元件，或是组装及制造显示器组件时，一般都必须在可容忍误差范围内配置各种不同的元件，其中校准标记(Alignment Mark)则是用来在集成电路 (Integrated Circuit, IC)粘贴或是固定到显示器组件的玻璃面板时，用以将集成电路元件定位到正确位置所使用的对准标记。请参照图1A，图IA为现有校准标记的俯视图。而图IB是校准标记在集成电路元件140上相对位置的示意图，例如包括校准标记Tl与T2，位于集成电路元件140两侧的位置。校准标记100包括一个标记主体130与其周边区域120。标记主体130为十字形，两侧可用以作为定位坐标轴，包括X轴与Y轴的方向。如图IB所示，集成电路(IC)元件140制造完成后，在两侧具有校准标记Tl与T2。集成电路元件140将会被配置在显示器组件的玻璃面板表面，而与玻璃面板内连线antercormection)或是形成与表面的线路构成电性连接，其中，为了精确地将集成电路元件140放置在玻璃面板对应且正确的位置，则在两侧的校准标记Tl与T2将是用以位置校准的依据。对准的方式通常利用光学对准的方法，以一入射光照射在集成电路(IC)元件140 上，进而读取校准标记Tl与T2的位置，包括对准标记主体130，用以作为位置调校与对准的依据。请参照图1C，图IC为一接合装置(Bonding Device)，用以将集成电路元件140配置接合在玻璃面板上的示意图。此接合装置包括一接合底座150，而显示器组件的玻璃面板160则是放置在接合底座150的表面，以及接合头(Bonding Head) 152则是位于接合底座150上方，可由机器或人工方式移动。当集成电路元件140欲配置在玻璃面板160的表面时，则可直接贴附其上，而贴附的方式可以利用异方性导电膜(Anisotropic Conductive Film，ACF) 156以及热电耦 (Thermo Couple) 154进行电性连接。为了将集成电路元件140配置在玻璃面板160正确的位置，通常需要经过校准的程序，而其校准的方式，就是利用集成电路元件140的校准标记。当入射光照射在集成电路元件140上时，校准标记的标记主体130可以有效地反射入射光，而其周边区域120反射的效果将比标记主体130的表面还差，因此，通过两区域之间对入射光所产生的对比，可以有效地取得标记主体130的位置与形状，而可据以进行位置对准与调校。然而，由于制程上均勻性的问题，造成校准标记的背景区域(也就是周边区域)有颜色差异太大问题，进而影响对准的辨识成功率。图2A与2B为面板厂实作时，校准标记的背景区域颜色差异太大情况的示意图。如图2A及2B所示，校准标记因为在生产时，由于制程上均勻性不易控制，局部区域材料无法做到厚度完全一致，因此，不同集成电路(IC)元件的校准标记，其背景区域产生不同的颜色上差异情况，在面板厂进行对准接合的时候，将造成无法定位校准标记的问题。对于此问题，美国专利第7821638号提出一种校准标记。在此专利中，图3A是美国专利第7821638号专利提出的一种校准标记的俯视图，如图3A所示，提出一种校准标记 300，包含一第一样式(Pattern) 320及其周边的第二样式302所组成。此第二样式302是由多个精细样式(Fine Pattern) 330所组成。第一样式320放置在较高的平面，因此与入射光垂直的第一样式320能反射入射光，用以校准标记之主体，可作为制造硅片时，利用光学量测取得顶点位置坐标的参考物。多个精细样式330沿着直角坐标系统χ轴与y轴方向依预先测量而得之节距长度(Pitch)依序置放在基底上，其中，这些精细样式330能对垂直的入射光以不规则的方向散射入射光。图;3B是美国专利第7821638号专利提出的另一种校准标记的俯视图。此校准标记300A为上述校准标记300的反向版本。图3C是美国专利第7821638号的校准记号的样式结构图，也即其校准标记剖面意图。校准标记300包含多种校准层304、306及308。一第一校准层304、一第二校准层306、一第三校准层308可依序以材料垂直的方向堆迭在基体 302上，其中，平行光入射至一第一样式320时，大部分的入射光都能反射，如反射光Ll所示。相反地，因为入射光入射至精细样式330之间隔时，产生不规则反射光L2。因此，从反射光信号检测校准标记时，能观察到反射光Ll与不规则反射光L2之间的对比，通过对比差异，用以方便校准的辨识。然而，由于不规则反射光L2的方向不规则，因此也会存在传统背景颜色差异太大的问题。另外，制程上也相对地复杂而增加成本。而上述的相关技术，若是运用在制造显示器元件，都需要进行一个玻璃覆晶基板 (Chip-On-Glass,COG)制程，用以移除校准标记上主体金属层的抗反射层。上述制程步骤， 除了增加额外制程的时间以及成本外，由于该制程在保护层(Passivation Layer)均勻性不佳时，会造成背景颜色上的差异，进而影响对准的辨识成功率。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种校准标记及其制造方法，能够增强背景与校准标记主体的对比，有效提升液晶显示器驱动IC与面板压合的对准辨识成功率。在一实施例中，提出一种校准标记，包括一背景样式，位于一第一介电层内，其中所述背景样式由金属铜层所组成，并且所述背景样式的表面覆盖一第二介电层；以及一标记主体样式，配置于所述第二介电层上，并位于所述背景样式涵盖区域的上方，其中，所述校准标记主体的材质为金属铝或铝铜合金所组成。在另一实施例中，提出一种校准标记，包括一标记主体样式，由金属铜层所组成且位于一第一介电层，并且所述标记主体样式的表面覆盖一第二介电层；以及一背景样式， 配置于所述第二介电层上，且位于所述标记主体样式的上方，其中所述背景样式为金属铝或铝铜合金所组成。在另一实施例中，提出一种校准标记制造方法，包括提供一基底，用以形成校准标记结构；在所述基底上形成一金属铜层以及环绕其四周的一第一介电层，并且所述金属铜层构成一背景样式；在所述第一介电层与该金属铜层上方形成一第二介电层；以及在所述第二介电层上方配置一标记主体样式，所述标记主体样式位于所述背景样式所涵盖区域的上方，其中，所述校准标记主体样式为金属铝或铝铜合金所组成。在另一实施例中，提出一种校准标记制造方法，包括提供一基底，用以形成校准标记结构；在所述基底上形成一金属铜层以及环绕其四周的一第一介电层，并且所述金属铜层构成一标记主体样式；在所述第一介电层与所述金属铜层上方形成一第二介电层；以及在所述第二介电层上方配置一背景样式，所述背景样式位于所述标记主体样式的上方， 其中，所述背景样式为金属铝或铝铜合金所组成。基于本专利技术所提供的技术方案，在一个实施例中，若将整片金属铜层或方阵排列金属铜层运用在校准标记的背景，可固定背景的颜色，而不须考虑制程上均勻性的问题，并增强与校准标记主体样式的对比，在另一实施例中，也可将整片金属铜层或方阵排列金属铜层运用在校准标记的主体样式，若将本专利技术的技术方案运用在液晶显示器组件制造，则能够提升液晶显示器驱动集成电路(IC)与面板本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种校准标记，适用于集成电路制造的铜制程，其特征在于，包括：一背景样式，位于一第一介电层内，其中所述背景样式由金属铜层所组成，并且所述背景样式的表面覆盖一第二介电层；以及一标记主体样式，配置于所述第二介电层上，并位于所述背景样式涵盖区域的上方，其中，所述校准标记主体的材质为金属铝或铝铜合金所组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王泰和，彭家纶，尤宏升，
申请(专利权)人：旭曜科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71